[發明專利]薄膜晶體管基板及其制造方法

有效

• 申請號: 200710306887.7
• 申請日: 2007-12-04
• 公開（公告）號: CN101221959A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發明（設計）人: 成碩濟;鄭基勛;崔晉榮
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L23/522;H01L21/84;H01L21/768;G02F1/1362
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波

技術領域

本申請涉及一種薄膜晶體管基板及其制造方法，更具體地涉及一種薄膜晶體管基板及其制造方法，該薄膜晶體管基板具有通過構建數據信號供應線獲得的減小的尺寸，每條數據信號供應線分別使用不同的金屬線將像素數據電壓提供給數據線。

背景技術

通常，液晶顯示(“LCD”)器件包括顯示圖像的LCD面板、驅動該LCD面板的驅動電路以及為LCD面板供應光的光源單元。

光源單元包括例如燈或者發光二極管用于發光的光源、將來自光源的光導向到LCD面板的導光板、將光反射并引導朝向導光板的反射片和設置在導光板和LCD面板之間以均衡來自導光板的光亮度的光學片材。

驅動電路包括驅動LCD面板的柵極線的柵極驅動電路、驅動數據線的數據驅動電路、為柵極驅動電路和數據驅動電路供應電能的電能供應單元、以及為柵極驅動電路和數據驅動電路供應控制信號的定時控制器。

LCD面板包括具有形成在其上的TFT陣列的薄膜晶體管(TFT)基板、具有形成在其上的濾色器陣列并且面向TFT基板的濾色器基板、和插入到TFT基板和濾色器基板之間的液晶。

濾色器基板包括在透明基板上以防止光泄漏的黑色矩陣、在由黑色矩陣彼此分開的像素區域中的濾色器和在濾色器上以供應公共電壓的公共電極。

TFT基板包括在每個像素區域上的像素電極和連接到該像素電極的TFT。在這樣的情況下，柵極線為TFT的柵電極供應來自柵極驅動電路的掃描信號。每當掃描信號供應給柵電極時，數據線為TFT供應來自數據驅動電路的像素數據信號。因此，像素數據信號對像素電極進行充電。

沿著非顯示區域額外地形成單獨的信號線從而為數據線供應來自數據驅動電路的像素數據信號，該單獨的信號線從將連接到數據驅動電路的數據線延伸。在這樣的情況下，由于信號線和數據線用同樣的金屬制成，因此無法避免信號線之間的信號干擾或者短路，除非在相鄰的信號線之間保持至少超過4μm的間隔。

當相鄰信號線之間的間隙保持到大概4μm時，然而，非顯示區域的尺寸隨數據線的數量成比例地增加。因此增加了TFT基板的尺寸。

發明內容

本發明的示范性實施例提供了一種TFT基板及其制造方法，通過構建具有第一導電層和第二導電層的數據信號供應線，并形成將數據線連接到相應數據信號供應線的橋接電極，從而減小了TFT基板的尺寸。

本發明的示范性實施例提供了一種TFT基板及其制造方法，以改變將數據信號供應線連接到數據線的橋接電極所連接的接觸孔尺寸的方式來區分接觸電阻，從而均衡數據線與連接到該數據線的數據信號供應線之間的電阻比。

本發明的一個示范性實施例提供了TFT基板，該TFT基板包括：在基板上彼此交叉的柵極線和數據線，在其間安置有柵極絕緣層；在每個柵極線和數據線的交叉點上的TFT；顯示區域，在其中形成連接到該TFT的像素電極；在位于顯示區域外圍的非顯示區域中，包括連接到數據線的第一導電層的第一數據信號供應線；以及與第一數據信號供應線交替的第二數據信號供應線，在其間安置有柵極絕緣層，第二數據信號供應線包括連接到數據線的第二導電層。

第一數據信號供應線可以與柵極線用同樣的金屬材料形成并位于同一平面上。第二數據信號供應線也可以與數據線用同樣的金屬材料形成并位于同一平面上。

第二數據信號供應線可以形成為與第一數據信號供應線的一側平行。

第一數據信號供應線可以連接到第M條數據線，和第二數據信號供應線可以連接到第(M+1)條數據線(其中M是自然數)。

TFT基板還可包括分別暴露第一數據信號供應線和第M條數據線的第一和第二接觸孔、經由第一和第二接觸孔連接第一數據信號線和第M條數據線的第一橋接電極、分別暴露第二數據信號供應線和第(M+1)條數據線的第三和第四接觸孔、以及經由第三和第四接觸孔連接第二數據信號供應線和第(M+1)條數據線的第二橋接電極。

第一和第二接觸孔可以大于第三和第四接觸孔，反之亦然。

第一和第二橋接電極可以與像素電極用同樣的金屬材料形成并位于同一平面上。

第一和第二數據信號供應線可以分別形成在位于顯示區域上方和下方的非顯示區域中。

形成在位于顯示區域上方的非顯示區域中的第一和第二數據信號供應線分別連接到第M條和第(4M-2)條數據線，和形成在位于顯示區域下方的非顯示區域中的第一和第二數據信號供應線分別連接到第(4M-3)條和第(4M-1)條數據線。