[發明專利]一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法

無效

• 申請號: 200710302534.X
• 申請日: 2007-12-28
• 公開（公告）號: CN101256923A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 吳華夏;鄧清東;趙艷珩;李榮;侯信磊;任振國;沙瑩瑩
• 申請（專利權）人: 安徽華東光電技術研究所
• 主分類號: H01J9/02
• 分類號: H01J9/02
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司
• 代理人: 周光

技術領域

本發明涉及微波管制造技術，具體地說涉及一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法。

背景技術

微波管中的柵控電子槍重要組成部分是柵極，柵極的柵網制造和柵網對柵極的性能影響很大。傳統柵網制造工藝一般采用電火花加工。即先把鉬片沖壓成具有一定曲率半徑的弧面，然后采用電火花加工工藝把弧面鉬片鏤空加工成所需要的結構。但是電火花加工工藝加工出的柵網在精度方面還不盡人意。由于平面柵網已經具有了一定的結構圖案，因此在沖壓成型的過程中極易發生變形現象。任何一根柵絲的拉伸不均勻或者沖頭與平面柵網表面的稍微不垂直以及沖頭與平面柵網定位的偏差都會造成柵網成型后結構上的不對稱，使柵網成型不合格。在微波器件結構尺寸日益小型化的今天，對其零部件的尺寸精度要求也日益提高。

目前，通過傳統柵網制造工藝加工出的柵網精度已很難滿足這些要求。另外由于電火花加工出來的柵網表面不容易處理干凈，制成的柵網上的網絲上常常有毛刺和其它黑色附著物導致表面不光滑，容易造成柵極打火，這樣，柵控電子槍柵極截獲電流偏大，從而影響微波管的性能和產品的成品率。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，針對現有技術的不足，提供一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法，以達到通過柵極的成型制造裝置及成型制造方法加工出的微波管柵極具有加工精度高、光潔度高、合格率高等目的。

為解決上述技術問題，本發明的技術方案是，一種微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于：所述成型制造裝置包括成型陽模、成型陰模、定位銷、成型基座組成，所述成型陽模呈銷釘狀，通過墊圈插入成型陰模的銷孔內，所述的成型陰模與成型基座上對應的設有至少兩個以上定位銷孔，成型陰模通過插入定位銷孔的定位銷、柵極柵網與成型基座相連接。

微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型陰模與成型基座的連接端面為相適配的曲面。

微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型陰模與成型基座上對應的設有四個定位銷孔。

微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型陰模和成型基座采用硬度不同的材料。

微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型基座與定位銷為滑動配合。

微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型基座材料為無氧銅。

本發明另一種技術方案是，一種微波管柵極的成型制造方法，其特征在于：采用光刻方法制作出的平面柵網裝配柵極的成型制造裝置中，通過采取一定的工藝手段，使平面柵網成型為有一定曲率半徑的曲面柵網，該方法包含下列步驟；

a)用定位銷把平面柵網安裝到成型陰模上；

b)通過定位銷3連接成型基座上面的定位銷孔，把安裝有平面柵網的成型陰模安裝到成型基座上；

c)把成型陽模1通過成型陰模上面的銷孔安裝到上述組件中；

d)把上述裝配好的成型制造裝置加熱至一定的溫度，然后放到壓力機的工作臺面上，對成型陽模的受力面施加一定的壓力，使平面柵網成型在成型基座中；

e)拆下帶有成型柵網的成型基座，把其放入特殊的溶液中，使成型柵網與成型基座分離。

微波管柵極的成型制造方法，所述的成型制造裝置加熱溫度為300℃±20℃。

微波管柵極的成型制造方法，所述溶液為刻蝕溶液可以刻蝕銅的刻蝕溶液。

微波管柵極的成型制造方法，所述刻蝕溶液濃度為某酸酐28％，某酸2％質量分數。

借鑒現代集成電路制造工藝，采用光刻法加工平面柵網，將平面柵網的加工精度由原來的機械加工精度提高到光學精度。通過上述的微波管柵極的成型制造方法使平面柵網成型為具有一定曲率半徑的曲面柵網。

一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法，由于采用上述的微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法，與現有技術相比；加工出的柵極柵網具有加工精度高，光潔度高，合格率高等優點。與電火花加工相比，光刻工藝加工具有精度高，定位準等優點，表面處理干凈，不需要電火花加工后復雜的表面處理工作，節省了人力物力，極大的克服了微波管柵極打火這一缺點。通過柵極的成型制造裝置能夠使平面柵網在受力后能夠陷進基座中成型。同時平面柵網的設計上具有定位孔，從而可以通過定位銷的作用來保證成型陽模和平面柵網的精確定位，提高柵網成型后結構上對稱度的精度。

附圖說明

圖1為本發明微波管柵極的成型制造裝置剖面結構示意圖；

在圖1中，1、成型陽模；2、成型陰模；3、定位銷；4、成型基座；5、墊圈；6、銷孔；7、定位銷孔；8、柵網。

具體實施方式