[發明專利]一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法

無效

• 申請號: 200710302534.X
• 申請日: 2007-12-28
• 公開（公告）號: CN101256923A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 吳華夏;鄧清東;趙艷珩;李榮;侯信磊;任振國;沙瑩瑩
• 申請（專利權）人: 安徽華東光電技術研究所
• 主分類號: H01J9/02
• 分類號: H01J9/02
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司
• 代理人: 周光

1、一種微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于：所述成型制造裝置包括成型陽模(1)、成型陰模(2)、定位銷(3)、成型基座(4)組成，所述成型陽模(1)呈銷釘狀，通過墊圈(5)插入成型陰模(2)的銷孔(6)內，所述的成型陰模(2)與成型基座(4)上對應的設有至少兩個以上定位銷孔(7)，成型陰模(2)通過插入定位銷孔(7)的定位銷(3)、柵極柵網(8)與成型基座(4)相連接。

2、根據權利要求1所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于：所述的成型陰模(2)與成型基座(4)的連接端面為相適配的曲面。

3、根據權利要求1所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于：所述的成型陰模(2)與成型基座(4)上對應的設有四個定位銷孔(7)。

4、根據權利要求1或2所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于：所述的成型陰模(2)和成型基座(4)采用硬度不同的材料。

5、根據權利要求1或2所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于：所述的成型基座(4)與定位銷(3)為滑動配合。

6、根據權利要求3所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于：所述的成型基座(4)材料為無氧銅。

7、一種微波管柵極的成型制造方法，其特征在于：采用光刻方法制作出的平面柵網裝配柵極的成型制造裝置中，通過采取一定的工藝手段，使平面柵網成型為有一定曲率半徑的曲面柵網，該方法包含下列步驟；

a)用定位銷(3)把平面柵網安裝到成型陰模(2)上；

b)通過定位銷3連接成型基座(4)上面的定位銷孔(7)，把安裝有平面柵網(8)的成型陰模(2)安裝到成型基座(4)上；

c)把成型陽模1通過成型陰模2上面的銷孔(6)安裝到上述組件中；

d)把上述裝配好的成型制造裝置加熱至一定的溫度，然后放到壓力機的工作臺面上，對成型陽模(1)的受力面施加一定的壓力，使平面柵網(8)成型在成型基座(4)中；

e)拆下帶有成型柵網的成型基座(4)，把其放入特殊的溶液中，使成型柵網()與成型基座(4)分離。

8、根據權利要求7所述的微波管柵極的成型制造方法，其特征在于：所述的成型制造裝置加熱溫度為300℃±20℃。

9、根據權利要求7所述的微波管柵極的成型制造方法，其特征在于：所述溶液為刻蝕溶液可以刻蝕銅的刻蝕溶液。

10、根據權利要求9所述的微波管柵極的成型制造方法，其特征在于：所述刻蝕溶液濃度為-某酸酐28％，某酸2％質量分數。