[發明專利]隔壁形成方法

無效

• 申請號: 200710301200.0
• 申請日: 2007-12-26
• 公開（公告）號: CN101211733A
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發明（設計）人: 藤尾俊介;吉永隆史
• 申請（專利權）人: 富士通日立等離子顯示器股份有限公司
• 主分類號: H01J9/02
• 分類號: H01J9/02;H01J9/24;H01J11/02
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及隔壁形成方法，進一步詳細而言，涉及一種隔壁形成方法，該方法包括在由使用抗蝕劑掩模的圖案形成(patterning)形成隔壁圖案(pattern)的材料層之后，從該隔壁圖案的材料層除去抗蝕劑掩模的工序。

背景技術

作為具有隔壁的顯示面板，已知等離子體顯示面板(以下稱為“PDP”)，其中特別熟知AC面放電型的PDP。該PDP采用貼合前面側的基板和背面側的基板、在內部封入放電氣體的結構。在前面側的基板的內面上平行地形成多個顯示電極，以電介質層和保護層覆蓋該顯示電極。在背面側的基板上形成用于劃分放電空間的隔壁，在隔壁和隔壁之間分開涂敷三原色，即紅色(R)、綠色(G)和藍色(B)的熒光體層。

在鄰接的一對顯示電極間施加電壓時，由隔壁劃分的放電空間產生放電，伴隨該放電產生紫外線，通過該紫外線激發熒光體層發光，從而進行顏色顯示。上述隔壁的形成廣泛使用噴砂法、蝕刻法等消去法(subtract)(例如，參照日本特開平2-301934號公報)。

使用噴砂法的隔壁形成工藝中，首先在基板上形成隔壁材料層，在該隔壁材料層上疊層(laminate)感光性的干膜，或涂敷液狀的感光性抗蝕劑，通過曝光、顯影，形成隔壁圖案的抗蝕劑掩模。

然后，由噴砂除去從該抗蝕劑掩模(隔壁圖案掩模)露出的隔壁材料層后，通過使用剝離液洗凈除去抗蝕劑掩模，形成隔壁圖案的材料層，通過燒結該隔壁圖案的材料層形成隔壁。

使用該噴砂法的隔壁形成工藝中，必須具有在從抗蝕劑掩模露出的隔壁材料層上吹附切削粒子的切削工序，和在該切削工序后除去抗蝕劑掩模的工序。

但是，在抗蝕劑掩模的除去工序中，會發生作為隔壁圖案的應該殘留的隔壁材料層倒塌而產生缺陷的問題。該問題隨著圖像質量變得高精細、隔壁寬度變窄、畫面比率(Aspect?Ratio)變高而變得顯著。

發明內容

本發明是考慮了上述情況而提出的，通過在基板和隔壁材料層之間形成在燒結隔壁圖案材料層時會被燒盡的粘接層，防止在抗蝕劑掩模的除去工序中的隔壁圖案材料層的倒塌。

本發明的隔壁形成方法的特征在于，由以下工序構成：在基板上形成隔壁材料層，在其上形成抗蝕膜并進行抗蝕膜的圖案形成，利用形成圖案后的抗蝕膜作為掩模，除去從該掩模露出的隔壁材料層，從而形成隔壁圖案的材料層，之后，從該隔壁圖案的材料層除去抗蝕膜，之后通過燒結隔壁圖案的材料層形成隔壁，具有在上述基板和隔壁材料層之間形成粘接層的工序，上述粘接層具有粘接力，在從隔壁圖案的材料層除去抗蝕膜時，能夠將上述隔壁圖案的材料層維持在基板上，且該粘接層由在燒結隔壁圖案的材料層時會被燒盡的熱燒盡性的材料構成。

根據本發明，因為除去抗蝕劑掩模的工序時隔壁不會發生倒塌，所以能夠降低隔壁的不良率。此外，在將本發明應用于顯示面板的制造中時，因為即使隔壁的寬度很細也不會發生隔壁的倒塌，所以能夠制造更高精細的顯示面板。

附圖說明

圖1是表示應用本發明的隔壁形成方法所制造的PDP的一個例子的說明圖。

圖2是表示本發明的隔壁形成方法的工序順序的說明圖。

具體實施方式

本發明的隔壁形成方法的要點是：以在隔壁材料層的形成面與隔壁材料層之間設置以樹脂為主要成分的熱燒盡性的粘接層的狀態進行隔壁的圖案形成。粘接層使用能夠承受隔壁材料層的干燥階段的熱處理，在圖案形成后的燒結工序中與隔壁材料內的粘合劑成分一同燒盡的材料。

本發明的隔壁形成方法適用于利用噴砂法的圖案形成，也能夠應用于伴隨抗蝕劑掩模的剝離工序的化學蝕刻法。此外，作為對象的PDP不僅有AC面放電型的PDP，也可以為DC型的PDP，在前面側的基板或在前面側的基板和背面側的基板兩者上形成有隔壁的PDP中也能夠應用本發明。

在本發明中，作為基板，包括玻璃、石英、陶瓷等的基板，和在這些基板上形成電極、絕緣膜、電介質層、保護膜等的期望的構成要素的基板。