[發明專利]電子器件的制造方法及適合于該制造方法的涂布液

有效

• 申請號: 200710197103.1
• 申請日: 2007-12-04
• 公開（公告）號: CN101197424A
• 公開（公告）日: 2008-06-11
• 發明（設計）人: 湯本徹
• 申請（專利權）人: 旭化成株式會社
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56;H01L51/48;C09D7/12
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所
• 代理人: 段承恩;田欣

技術領域

本發明涉及有機電致發光元件(以下，酌情稱為“有機EL元件”)等電子器件的制造方法及適合于該制造方法的涂布液，上述有機電致發光元件是用作有機薄膜太陽能電池、晶體管元件、顯示器用顯示元件及照明元件的自發光型元件。

背景技術

作為電子器件的制造方法，為了達到低成本化、大面積化及撓性化，人們正在積極開展對使用各種涂布法的制造方法的研究。但是，使用涂布法的條件是基底不能溶于所涂布的溶劑。

例如，對于晶體管元件來說，在涂布有機半導體層后施加保護膜時，如果采用涂布法進行層疊，則必須防止基底膜(有機半導體層)溶于所涂布的溶劑中。

另外，對于有機薄膜太陽能電池來說，在通過涂布法層疊p型有機半導體和n型有機半導體、在p-n結中導入p型有機半導體和n型有機半導體的混合層等情況下，在有機半導體材料進行相同或不同材料的層疊等情況下，防止基底膜溶于所涂布的溶劑或者對層疊時的界面進行控制等是必須的。

以下，以有機EL元件作為具體例子進行說明。

自從Tang和VanSlyke進行報導以來(非專利文獻1)，人們積極開展了對涉及有機EL元件的研究開發。通常，有機EL元件分為低分子類有機物和高分子類有機物兩種。低分子類有機物的制膜方法通常采用真空蒸鍍。通過采用真空蒸鍍，可以容易得到具有獨立功能的有機層的層疊結構，可以制作高性能的有機EL元件。目前，已達到了可合成在有機EL元件上顯示優異性能的低分子類有機物并可進行實用的水平。但是，由于蒸鍍法是在真空中制膜，所以很難大面積化，材料的利用效率還不足。

與其相比，對于高分子類有機物來說，其制造方法可以采用各種涂布法。作為各種涂布法，可以列舉澆鑄法、旋涂法、噴射法、浸漬法、噴涂法、印刷法。這些方法均可以在大氣壓下制膜，比蒸鍍法更容易實現大面積化。另外，材料的利用率也高，因此在成本上是有利的。

但是，當使用層疊結構來謀求提高性能時，作為后來涂布的涂布液的溶劑，必須選擇不溶解基底有機層的溶劑，存在著可選用的材料受到限制等局限性，不容易制作層疊結構。

作為層疊有機物的技術，已知有通過交聯進行不溶解化處理從而進行層疊的技術(例如，參見專利文獻1)。但是，該技術存在以下局限性，即，有時制造工藝復雜或需要引入交聯基團等。

另外，也常常采用以下技術，即，將屬于水分散類高分子系有機物的PEDOT/PSS作為空穴注入材料，使用高分子類有機物、利用涂布法層疊在發光層材料上的技術。但是，在水性體系情況下，各種離子性雜質可能會對有機EL元件的可靠性造成不良影響。另外，據報導，由于PEDOT上會擴散出S或SO₃基團，而導致發光效率下降(非專利文獻2)。

近年來，人們正在進行使低分子類有機物應用于涂布法的研究，但是在制作層疊結構時，與高分子類有機物一樣，后來涂布的涂布液的溶劑會溶解基底有機層，不容易制作層疊結構。

[專利文獻1]日本特開2000-077185號公報

[非專利文獻1]C.W.Tang?and?S.A.VanSlyke：Appl.Phys.Lett.，51，p.913(1987)

[非專利文獻2]“有機ELハンドブツク”，リアライズ理エセンタ一發行，2004年，p.260

發明內容

本發明的課題是提供對低分子類有機物及高分子類有機物等所有有機物均有效，可以通過涂布法使用這些有機物形成層疊結構的電子器件的制造方法及適合于該制造方法的涂布液。例如，提供有機EL元件的制造方法及適合于該制造方法的涂布液。

為了解決上述課題，本發明人反復進行了深入研究，從而完成了本發明。本發明的特征在于對被層疊的層賦予耐有機溶劑性。

即，第1方案的發明是層疊有至少兩層以上含有有機物的層的電子器件的制造方法，其特征在于使用含有有機物及金屬和/或金屬氧化物的涂布液A形成第一層(混合層)，然后使用含有有機物的涂布液B來層疊第二層。

另外，第2方案的發明是第1方案所述的電子器件的制造方法，其特征在于，上述電子器件，在一對電極之間至少層疊有兩層以上的含有有機物的層；該制造方法包括在上述一對電極的一方電極上直接或通過介有其它層涂布含有有機物及金屬和/或金屬氧化物的涂布液A，從而制膜形成第一層(混合層)的第一工序，和在通過該第一工序制膜形成的混合層上直接涂布含有有機物的涂布液B，從而制成形成第二層的有機層的第二工序。