[發明專利]將涂層涂敷到襯底的方法有效
| 申請號： | 200710192793.1 | 申請日： | 2007-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN101229536A | 公開（公告）日： | 2008-07-30 |
| 發明（設計）人： | 上田修一郎;神戶壽夫 | 申請（專利權）人： | 中外爐工業株式會社 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05C9/08;B05C11/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 楊娟奕 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 涂層 涂敷到 襯底 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種將涂層涂敷到襯底的方法，通過該方法，噴嘴噴射液體介質到位于工作臺上的襯底上，所述噴嘴被連接至噴嘴夾持器的噴嘴定位器支撐，所述噴嘴夾持器能夠相對于工作臺在前后方向上移動，所述方法的特征在于以下操作程序：
首先安裝距離傳感器，所述距離傳感器作為測量形成在所述襯底上的介質層表面和所述噴嘴之間的距離的裝置；
將測試襯底放置在所述工作臺上，并且在所述噴嘴夾持器相對于所述工作臺向前移動期間通過從所述噴嘴噴出的液體介質對測試襯底進行測試性涂層；
在所述噴嘴夾持器相對于所述工作臺向后移動期間，通過所述距離傳感器執行測量操作；
根據所述距離傳感器執行的所述測量操作的結果啟動噴嘴定位器，所述噴嘴定位器作為設定形成預期涂層的所述噴嘴的位置的裝置；以及
將液體介質涂敷到襯底上。
2.根據權利要求1所述的將涂層涂敷到襯底的方法，其中，所述噴嘴定位器是根據從其獲得的加壓值、通過由所述噴嘴夾持器施加的反作用力使所述噴嘴升高或降低的加壓機構。
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