[發(fā)明專利]將涂層涂敷到襯底的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710192793.1
• 申請日: 2007-11-20
• 公開（公告）號: CN101229536A
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 上田修一郎;神戶壽夫
• 申請（專利權(quán)）人: 中外爐工業(yè)株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C9/08;B05C11/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 楊娟奕

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種將涂層涂敷到襯底的方法，其中可以有效地控制通過噴嘴在襯底上噴射的液體介質(zhì)的涂層表面，可以有效地控制通過液體介質(zhì)形成的涂層的厚度的形成，并且可以高生產(chǎn)效率地保持涂層的質(zhì)量控制。

背景技術(shù)

涉及對等離子顯示板等涂敷高質(zhì)量涂層的技術(shù)需要一種可以解釋為管理面板涂層的涂敷的方法。在本申請標(biāo)注的參考文件1到3中說明了該技術(shù)。參考文件1是名稱為“涂層裝置、涂層方法、用于制備濾色片的裝置及其制備”的日本未實審的專利公開文件，描述了一種對玻璃襯底進(jìn)行高速均勻涂層的方法，該方法適用于大尺寸玻璃襯底并且可以相對于介質(zhì)涂敷方向在寬度方向上在液體介質(zhì)涂抹器的前緣和襯底之間保持均勻間隙。因此該裝置和方法需要提供距離調(diào)節(jié)構(gòu)件，以便于沿寬度方向在液體介質(zhì)涂抹器的前緣和襯底之間保持均勻的間隙，并且可以通過改變前緣沿寬度方向的位置執(zhí)行涂層操作。

參考文件2是名稱為“襯底處理裝置”的日本未實審的專利公開文件，描述了一種裝置，為了掃描形成的抗蝕層，該裝置使用間隙傳感器掃描襯底上的將要被涂以抗蝕層的區(qū)域，測量到抗蝕層的距離，并將數(shù)據(jù)發(fā)送到控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)比較代表涂敷抗蝕層之前的間隙(到襯底表面的距離)的值和代表涂敷抗蝕層之后的間隙(到抗蝕層表面的距離)的值，以便計算襯底上的抗蝕層的厚度。

參考文件3是名為“縫模和用于生產(chǎn)具有涂層膜的基體的方法和裝置”的日本未實審的專利公開文件，描述了具有緣部的縫模，在所述緣部之間，微米水平的間隙可以沿長度方向被容易地調(diào)節(jié)，在組裝后不需要專門調(diào)節(jié)，并且能夠涂敷厚度偏差小于3％的精確且均勻的涂層。

【參考文件1】日本未實審的專利公開文件H11-300258

【參考文件2】日本未實審的專利公開文件2004-14607

【參考文件3】日本未實審的專利公開文件2004-283820

參考文件1描述了為保持寬度方向上涂抹器的前緣與要被涂層的襯底之間均勻的距離而改變液體介質(zhì)涂抹器前緣的位置的距離調(diào)節(jié)構(gòu)件的應(yīng)用。該裝置和方法僅能夠從裝置一側(cè)保持涂抹器的前緣和要被涂層的襯底之間的均勻距離，因此不能說是提供了有效地控制涂層表面的形成的裝置。

參考文件2描述了裝有間隙傳感器的裝置，該間隙傳感器建立了涂敷抗蝕層之前的距離值(到襯底表面的距離)和涂敷了抗蝕層之后的距離值(到抗蝕層表面的距離)。然而，這些距離值用于監(jiān)控抗蝕層。即，它們只用于執(zhí)行產(chǎn)品合格或不合格的檢查，卻對輔助涂層的形成沒有任何幫助。

參考文件3描述了沿兩個凸緣件的寬度方向調(diào)節(jié)兩個凸緣件之間的間隙的方法。盡管在裝置本身上提供調(diào)節(jié)凸緣之間的間隙的手段，該方法不能說是提供了有效控制涂層形成的方法。

發(fā)明內(nèi)容

考慮到這些相關(guān)技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提出一種有效控制從噴嘴涂敷到襯底的涂層表面的形成、涂層厚度和保持高水平的生產(chǎn)率的同時控制涂層質(zhì)量的方法。

本發(fā)明涉及一種將涂層涂敷到襯底的方法，其中，噴嘴噴射液體介質(zhì)到位于工作臺上的襯底上，所述噴嘴被連接至噴嘴夾持器的噴嘴定位器支撐，所述噴嘴夾持器相對于工作臺在前后方向上移動。在為了測量形成在襯底上的介質(zhì)層表面和噴嘴之間的距離安裝了距離傳感器后，將測試襯底放置在工作臺上，并且在噴嘴夾持器相對于工作臺向前移動期間通過從所述噴嘴施加的液體介質(zhì)對測試襯底進(jìn)行涂層。接著，在所述噴嘴夾持器相對于工作臺向后移動期間，通過所述距離傳感器執(zhí)行測量操作；之后，為了涂敷預(yù)期的介質(zhì)涂層，根據(jù)所述距離傳感器執(zhí)行的所述測量操作的結(jié)果啟動噴嘴定位器，所述噴嘴定位器作為設(shè)定噴嘴位置的裝置。這之后將液體介質(zhì)涂敷到襯底上。

噴嘴定位器因通過噴嘴夾持器施加的反作用力而移動，因此作為加壓機(jī)構(gòu)，所述加壓機(jī)構(gòu)根據(jù)從其獲得的加壓值施加壓力以增加或降低噴嘴。

本發(fā)明能夠有效控制從噴嘴涂敷到襯底的涂層表面、涂層厚度，以及在保持高水平的生產(chǎn)率的同時控制涂層的質(zhì)量。

附圖說明

圖1是將涂層涂敷到襯底的方法的優(yōu)選實施例的示圖；

圖2是說明圖1中示出的涂層方法的操作程序的示意圖；

圖3是圖1中示出的涂層方法所使用的涂層裝置的示圖；以及

圖4是圖1中示出的涂層方法所使用的涂層裝置中的噴嘴調(diào)節(jié)狀況的示圖。

符號說明：

1S、1P：襯底

2：工作臺

3a-3c：噴嘴定位器

4：噴嘴

5：噴嘴夾持器

6a-6c：距離傳感器

L：液體介質(zhì)

LS：涂層表面

具體實施方式