[發明專利]多方向投影式莫爾干涉儀以及使用該干涉儀的檢查方法

有效

• 申請號: 200710188221.6
• 申請日: 2007-11-13
• 公開（公告）號: CN101303223A
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發明（設計）人: 金珉永
• 申請（專利權）人: 株式會社高永科技
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B9/023;G02B26/08;G02B7/00;G02B5/20
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余朦;方挺

技術領域

本發明涉及多方向投影式莫爾干涉儀以及利用它的檢查方法，更具 體地說，涉及從多方向向檢查對象物投射圖形照明以去除檢查對象物的 各種形狀的復雜陰影區域的多方向投影式莫爾干涉儀以及利用它的檢查 方法。

背景技術

利用附圖對現有的投影式莫爾干涉儀進行說明如下。如圖9所示， 現有的莫爾干涉儀包括產生雙向圖形照明的多個投射部(projector)3和 一個成像部4。

多個投射部3分別傾斜地安裝在成像部4的一側和另一側，它由照 明源3b和多個投射透鏡3c、3d組成的照明部3a；光柵元件3e；光柵移 送機構3f及投射透鏡3g構成且產生圖形照明。圖形照明是在照明部3a 的照明源3b產生的照明透過多個投射透鏡3c、3d之后由光柵元件3e處 的光柵條文形成。由光柵條文形成的圖形照明透過投射透鏡3g雙向地投 射到安放在X-Y工作臺2上的檢查對象物。X-Y工作臺2由工作臺移送 機構2a驅動并在X軸或Y軸方向上移送檢查對象物1。

成像部4由CCD(Charge?Coupled?Device：電荷耦合器)照相機4a、 成像透鏡4b及濾光器4c構成，并對由檢查對象物反射的圖形照明形成 的圖形影像進行拍攝。在成像部4下側還設有圓形燈5，圓形燈5在對檢 查對象物1的特異形狀進行拍攝時作為照明源使用。為了在使檢查對象 物1位于X-Y工作臺2的狀態下對檢查對象物1進行三維形狀的檢查， 成像部4在應用N-相移算法(bucket?algorithm)時通過光柵移送機構3f 移送光柵元件3e?N次的同時拍攝N個影像。拍攝得到N個影像時，控制 裝置圖中未示出利用該影像得到相位信息，多個投射部3分別得到相位 信息時，在計算出去除噪聲的綜合相位圖之后，利用該綜合相位圖可以 對檢查對象物1的高度圖及三維形狀進行檢查。

發明內容

然而，現有的投影式莫爾干涉儀存在的問題是：在將多個投射部以 檢查對象物為基準相互對著設置的狀態下分別投射照明對檢查對象物進 行檢查的情況下，在對形狀非常復雜的檢查對象物進行檢查時，由于不 能完全去除陰影區域，因此不能準確地檢查檢查對象物。

本發明的目的是為了解決前述的問題點，提供一種多方向投影式莫 爾干涉儀以及利用它的檢查方法，可從多方向向檢查對象物投射圖形照 明以去除檢查對象物的多種形狀導致的復雜的陰影區域。

本發明的另一個目的是：提供一種多方向投影式莫爾干涉儀，可以 使用旋轉鏡部自由地改變圖形照明的投射方向以投射檢查對象物，將多 個光柵元件設置在一個光柵板上之后，通過對光柵板進行移送控制可以 使多方向投影式干涉儀結構緊湊(compact)，可以降低制造成本。

為達到上述目的，本發明的多方向投影式莫爾干涉儀包括：X-Y工 作臺，通過多個工作臺移送機構可移動地設置并使檢查對象物在X、Y 方向移動；成像部，設置在X-Y工作臺的上側對由位于X-Y工作臺的檢 查對象物反射的圖形影像進行拍攝；第1旋轉鏡部，設置在成像部一側 接受圖形照明的投射使光路改變并投射；第2旋轉鏡部，設置在成像部 的另一側接受圖形照明的投射使光路改變并投射；多個第1固定鏡部， 分別設置在第1旋轉鏡部的一側將第1旋轉鏡部投射的圖形照明向檢查 對象物投射；多個第2固定鏡部，分別設置在第2旋轉鏡部的另一側將 第2旋轉鏡部投射的圖形照明向檢查對象物投射；第1圖形照明產生部， 產生圖形照明并被設置成能夠使圖形照明投射到第1及第2旋轉鏡部。