[發明專利]多方向投影式莫爾干涉儀以及使用該干涉儀的檢查方法

有效

• 申請號: 200710188221.6
• 申請日: 2007-11-13
• 公開（公告）號: CN101303223A
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發明（設計）人: 金珉永
• 申請（專利權）人: 株式會社高永科技
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B9/023;G02B26/08;G02B7/00;G02B5/20
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余朦;方挺

1.一種多方向投影式莫爾干涉儀，其特征在于，包括：

X-Y工作臺(10)，通過多個工作臺移送機構可移動地設置以使檢查對 象物(1)在X、Y方向移動；

成像部(110)，設置在所述X-Y工作臺(10)的上側，對由位于X-Y工 作臺(10)上的檢查對象物(1)反射的圖形影像進行拍攝；

第1旋轉鏡部和第2旋轉鏡部，第1旋轉鏡部設置在所述成像部的 一側，第2旋轉鏡部設置在所述成像部的另一側，第1旋轉鏡部包括設 置為在垂直方向上多層排列且彼此對著的第1旋轉鏡及第2旋轉鏡，以 接收圖形照明、使圖形照明的光路改變并投射所述圖形照明，第2旋轉 鏡部包括設置為在垂直方向多層排列且彼此對著的第3旋轉鏡及第4旋 轉鏡，以接收圖形照明、使圖形照明的光路改變并投射所述圖形照明， 第1旋轉鏡低于第2旋轉鏡，第3旋轉鏡低于第4旋轉鏡；

第1固定鏡部及第2固定鏡部，所述第1固定鏡部設置在所述第1 旋轉鏡部的一側，所述第2固定鏡部設置在所述第2旋轉鏡部的另一側， 將第1及第2旋轉鏡部投射的圖形照明向檢查對象物(1)投射；以及

第1圖形照明產生部(180)，被設置成將圖形照明投射到所述第1及 第2旋轉鏡部，

其中，所述第1圖形照明產生部(180)包括：光柵板(183)；第1到第 4光柵元件(182a，182b，182c，182d)，設置在所述光柵板(183)上，用于將 所述圖形照明分別投射到所述第1及第2旋轉鏡部；光柵板移送機構 (184)，設置在所述光柵板的一側表面上，以在垂直方向上移送第1至第 4光柵元件，從而在垂直方向上移送光柵板。

2.根據權利要求1所述的多方向投影式莫爾干涉儀，其中，所述成 像部(110)包括：

拍攝圖形影像的照相機(111)；以及

成像透鏡(112)，設置在所述照相機(111)的下側并對由檢查對象物(1) 反射的圖像影像進行成像，其中，所述照相機(111)采用CCD照相機或 CMOS照相機中的任意一種。

3.根據權利要求1所述的多方向投影式莫爾干涉儀，其中，所述成 像部(110)還具有產生用于對檢查對象物(1)進行二維檢查的照明的照明源 (114)，所述照明源(114)采用多個發光二極管或圓頂狀的多層圓形燈中的 任意一種。

4.根據權利要求2所述的多方向投影式莫爾干涉儀，還包括：

第1濾光器(141)、第2濾光器(151)、第3濾光器(161)和第4濾光器 (171)，分別接收從所述第1到第4旋轉鏡投射的圖形照明并進行濾光且 投射；以及

其中，所述第1濾光器(141)、第2濾光器(151)、第3濾光器(161)和 第4濾光器(171)分別采用頻率濾光器、濾色器、偏光濾光器及光強度調 節濾光器中的任意一種。

5.根據權利要求1所述的多方向投影式莫爾干涉儀，其中，所述第 1圖形照明產生部(180)還包括：

產生照明的第1到第4照明源(181a，181b，181c，181d)；

其中，所述第1到第4光柵元件(182a，182b，182c，182d)設置在所述 第1到第4照明源(181a，181b，181c，181d)的一側，分別用于當第1到第4 照明源(181a，181b，181c，181d)產生所述照明時產生圖形照明并投射所產 生的圖形照明。

6.根據權利要求5所述的多方向投影式莫爾干涉儀，其中，所述光 柵板移送機構(184)包括：

LM導向器(184a)，設置在所述光柵板(183)上；

LM軌道(184b)，引導所述LM導向器(184a)；

LM移送機構(184c)，沿著所述LM軌道(184b)移送以驅動所述LM 導向器(184a)來移送所述光柵板(183)，其中，

所述LM移送機構(184c)采用滾珠絲杠、直線馬達及PZT移送機構 中的任意一種。