[發明專利]具有鉸鏈的微鏡

無效

• 申請號: 200710186176.0
• 申請日: 2007-10-26
• 公開（公告）號: CN101299093A
• 公開（公告）日: 2008-11-05
• 發明（設計）人: 潘曉和;V·諾沃特尼;高俊德;李啟光
• 申請（專利權）人: 視頻有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 杜娟

技術領域

本發明涉及微鏡的制造。

背景技術

空間光調制器(SLM)可具有帶反射表面的可傾斜鏡板陣列。每個鏡板可利用靜電力傾斜成“開”位置和“關”位置。靜電力可由鏡板與鏡板下的一個或多個電極之間的電位差產生。在“開”位置，微鏡板可將入射光反射以形成顯示圖像中的圖像像素。在“關”位置，微鏡板將入射光導向離開顯示圖像。

發明內容

一方面，本發明涉及一種微鏡裝置，包括由襯底支撐的鉸鏈和繞該鉸鏈可傾斜的鏡板。該鉸鏈可包括選自由具有鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鎳合金、鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鋁合金、銅成分在大約5％和20％之間的鋁-銅合金、以及氮成分在大約0和15％之間的鋁鈦氮化物組成的組中的一種材料。

另一方面，本發明涉及一種微鏡裝置，包括位于襯底上的鉸鏈支柱；連接到該鉸鏈支柱的鉸鏈；以及連接到該鉸鏈并可繞該鉸鏈可傾斜的鏡板。該鉸鏈可包括選自由具有鈦成分大約30％和70％的鈦-鎳合金、鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鋁合金、銅成分在大約5％和20％之間的鋁-銅合金、以及氮成分在大約0和15％之間的鋁鈦氮化物組成的組中的一種材料。

另一方面，本發明涉及一種微鏡裝置，包括由襯底支撐的鉸鏈，可繞該鉸鏈傾斜的鏡板，以及一控制器，能夠產生一電信號以保持該鏡板位于相對襯底表面大于或等于2度的傾斜方向，而不使得該鏡板與襯底上除了該鉸鏈外的任何結構發生接觸。該鉸鏈可被配置成使得該鏡板從該傾斜方向彈性恢復到實質上平行于該襯底。

另一方面，本發明涉及一種微鏡裝置，包括由襯底支撐的鉸鏈；可繞該鉸鏈傾斜的鏡板，其中該鉸鏈被配置成當該鏡板傾斜時在該鏡板上產生彈性恢復力；以及一控制器，能夠產生一靜電力克服該彈性恢復力以將該鏡板從不傾斜位置傾斜至“開”位置或“關”位置。該靜電力被配置為與該彈性恢復力相反以保持該鏡板處于“開”位置或“關”位置。

另一方面，本發明涉及一種用于控制鏡板傾斜移動的方法。該方法包括在可繞由襯底支撐的鉸鏈傾斜的鏡板上產生一靜電力。當該鏡板傾斜時，該鉸鏈可在該鏡板上產生一彈性恢復力。該方法還包括克服該彈性恢復力以將該鏡板從不傾斜位置傾斜至“開”位置或“關”位置，并與該彈性恢復力平衡以保持該鏡板處于該“開”位置或“關”位置。

該系統的實現可包括一個或多個下列各項。該傾斜方向可相對于襯底表面大于或等于3度，該鉸鏈配置成將該鏡板從傾斜方向彈性恢復成實質上平行于該襯底。該傾斜方向可相對于襯底表面大于或等于4度，該鉸鏈可將該鏡板從傾斜方向彈性恢復成實質上平行于該襯底。該鉸鏈可包括選自由具有鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鎳合金、鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鋁合金、銅成分在大約5％和20％之間的鋁-銅合金、以及氮成分在大約0和15％之間的鋁鈦氮化物組成的組中的一種合金。該鉸鏈可包括鋁-鈦-氮化合物。鋁鈦氮化物中的鋁和鈦可具有大約相同的成分。該鋁鈦氮化物中的氮成分可在大約0和10％之間。該鉸鏈可包括鈦-鎳合金。該鈦-鎳合金中的鈦成分可在大約40％和60％之間。該鈦-鎳合金中的鈦成分可在大約45％和55％之間。該鉸鏈可包括鈦-鋁合金。該鈦-鋁合金中的鈦成分可在大約40％和60％之間。該鈦-鋁合金中的鈦成分可在大約45％和55％之間。

該系統的實現可包括一個或多個下列各項。該鉸鏈可包括鋁-鈦-氮化合物。該鋁鈦氮化物中的鋁和鈦可具有大致相同的成分。該鋁鈦氮化物中的氮成分可在大約0和10％之間。該鉸鏈可包括鈦-鎳合金。該鈦-鎳合金中的鈦成分可在大約40％和60％之間。該鈦-鎳合金中的鈦成分可在大約45％和55％之間。該鉸鏈可包括鈦-鋁合金。該鈦-鋁合金中的鈦成分可在大約40％和60％之間。該鈦-鋁合金中的鈦成分可在大約45％和55％之間。該鉸鏈可將該鏡板從相對于該襯底表面大于或等于2度、3度或4度的第一方向彈性恢復到實質上平行于該襯底的第二方向。該微鏡裝置可進一步包括一控制器，其被配置為產生一電信號以保持該鏡板處于相對于該襯底表面大于或等于2度、3度、或4度的方向。該微鏡裝置可進一步包括位于該襯底上的一機械制動器，該機械制動器被配置為接觸該鏡板以制動該鏡板的傾斜移動。該鉸鏈可包括鋁-銅合金。