[發(fā)明專利]具有鉸鏈的微鏡

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710186176.0
• 申請日: 2007-10-26
• 公開（公告）號: CN101299093A
• 公開（公告）日: 2008-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘曉和;V·諾沃特尼;高俊德;李啟光
• 申請（專利權(quán)）人: 視頻有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務(wù)所
• 代理人: 杜娟

1.一種微鏡裝置，包括：

由襯底支撐的鉸鏈；以及

可繞該鉸鏈傾斜的鏡板，其中該鉸鏈包括選自由具有鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鎳合金、鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鋁合金、銅成分在大約5％和20％之間的鋁-銅合金、以及氮成分在大約0和15％之間的鋁鈦氮化物組成的組中的一種材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鋁鈦氮化物，并且該鋁鈦氮化物中的鋁和鈦具有大致相等的成分。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鋁鈦氮化物，并且該鋁鈦氮化物中的氮成分在大約0和10％之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鈦鎳合金，并且該鈦鎳合金中的鈦成分在大約40％和60％之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鈦鎳合金，并且該鈦鎳合金中的鈦成分在大約45％和55％之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鈦鋁合金，并且該鈦鋁合金中的鈦成分在大約40％和60％之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鈦鋁合金，并且該鈦鋁合金中的鈦成分在大約45％和55％之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，其中該鉸鏈被配置為將該鏡板從相對該襯底表面成大于或等于2度的第一方向彈性恢復(fù)到實質(zhì)上平行于該襯底的第二方向。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的微鏡裝置，其中該鉸鏈被配置為將該鏡板從相對該襯底表面成大于或等于4度的第一方向彈性恢復(fù)到實質(zhì)上平行于該襯底的第二方向。

10.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，進一步包括一控制器，其被配置為產(chǎn)生一電信號以保持該鏡板處于相對該襯底表面大于或等于2度的方向。

11.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，進一步包括一控制器，其被配置為產(chǎn)生一電信號以保持該鏡板處于相對該襯底表面大于或等于4度的方向。

12.根據(jù)權(quán)利要求1的微鏡裝置，進一步包括一位于該襯底上機械制動器，其中該機械制動器被配置為接觸該鏡板以停止該鏡板的傾斜移動。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括鋁銅合金，并且該鋁銅合金中的鋁成分在大約70％和95％之間。

14.一種微鏡裝置，包括：

位于襯底上的鉸鏈支柱；

連接到該鉸鏈支柱的鉸鏈；以及

可繞該鉸鏈傾斜的鏡板，其中該鉸鏈包括選自由具有鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鎳合金、鈦成分在大約30％和70％之間的鈦-鋁合金、銅成分在大約5％和20％之間的鋁-銅合金、以及氮成分在大約0和15％之間的鋁鈦氮化物組成的組中的一種材料。

15.根據(jù)權(quán)利要求14的微鏡裝置，其中該鏡板包括鉸鏈層，該鉸鏈層包括該鉸鏈，其中該鉸鏈層包括與該鉸鏈實質(zhì)上相同的材料。

16.根據(jù)權(quán)利要求14的微鏡裝置，其中該鉸鏈至少部分延伸至該鏡板的下表面中的空腔中。

17.根據(jù)權(quán)利要求14的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鋁鈦氮化物，其中鋁和鈦具有大致相等的成分，氮成分在大約0和10％之間。

18.根據(jù)權(quán)利要求14的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鈦鎳合金，該鈦鎳合金中的鈦成分在大約40％和60％之間。

19.根據(jù)權(quán)利要求18的微鏡裝置，其中該鈦鎳合金中的鈦成分在大約45％和55％之間。

20.根據(jù)權(quán)利要求14的微鏡裝置，其中該鉸鏈包括該鈦鋁合金，并且該鈦鋁合金中的鈦成分在大約40％和60％之間。

21.根據(jù)權(quán)利要求20的微鏡裝置，其中該鈦鋁合金中的鈦成分在大約45％和55％之間。

22.根據(jù)權(quán)利要求14的微鏡裝置，其中該鉸鏈被配置為將該鏡板從相對該襯底表面成大于或等于2度的第一方向彈性恢復(fù)到實質(zhì)上平行于該襯底的第二方向。

23.根據(jù)權(quán)利要求22的微鏡裝置，其中該鉸鏈被配置為將該鏡板從相對該襯底表面大于或等于3度的第一方向彈性恢復(fù)到實質(zhì)上平行于該襯底的第二方向。