[發明專利]用于附著基板的設備

無效

• 申請號: 200710182037.0
• 申請日: 2007-10-24
• 公開（公告）號: CN101191937A
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發明（設計）人: 黃載錫;金東建
• 申請（專利權）人: 愛德牌工程有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;H01L21/677;B65G49/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

技術領域

本公開涉及一種用于將兩個基板彼此附著在一起的設備，更具體地說，涉及一種用于附著基板的設備，該設備在上腔室與下腔室之間設置有緩沖件。

背景技術

近來，隨著信息社會的發展，對顯示裝置的需求不斷增加。因此，已經開發出了多種不同類型的顯示裝置，諸如液晶顯示器(LCD)、等離子顯示面板(PDP)等。這些顯示裝置的用戶要求視頻質量優異、重量輕且尺寸大。因此，近來已開發出尺寸大于50英寸的超大尺寸LCD。

LCD顯示器是利用液晶折射率的各向異性而在其屏幕上顯示信息的顯示裝置。LCD顯示器通過在兩個基板之間加入液晶并將這兩個基板彼此附著在一起制造而成。這兩個基板中的一個是驅動裝置陣列基板，而另一個是濾色片(CF)基板。驅動裝置陣列基板上形成有多個像素，并且每個像素形成有諸如薄膜晶體管(TFT)的驅動器件。用于實現色彩的濾色片層連同像素電極、共用電極和用于對準液晶分子的對準膜(alignment?film)一起形成于濾色片基板上。

在制造這種顯示裝置的過程中，將兩個基板彼此附著在一起的過程是非常重要的。隨著顯示裝置尺寸的增大，用于附著這兩個基板的設備的尺寸也增大。

基板附著設備被設計成形成密封附著空間。在附著過程中，該空間被抽真空以形成真空。隨著基板附著設備的變大，由于附著腔室的內部和外部之間的壓力差而施加于附著設備的載荷也增大。該載荷作用在腔室本體的壁上，并且會引起腔室的變形。該變形力還可以向用于升降一半腔室的升降裝置施加額外的力。

該附著設備的升降裝置設置有升降電機，該升降電機提供用于升降腔室的驅動力。升降螺桿(lifting?screw)軸向地轉動以升高和降低用于支撐一部分腔室的框架。通常，升降裝置升降下腔室，直至下腔室與上腔室相連接以密封附著空間。接著對腔室進行真空排氣。附著空間內的真空狀態使得下腔室由于壓力差而被向上拉。當下腔室被向上拉時，力作用在支撐腔室的框架、升降螺桿等上。因此，框架、升降螺桿、以及升降裝置的其它部分可能變形。進而，這將易于造成部件的頻繁更換且基板附著設備的使用壽命較短。

而且，在附著過程中，重要的是調整基板之間的間隙，從而使基板之間具有均勻的間隙，并且對準基板的相對位置也很重要從而兩個基板在精確的期望位置處彼此附著在一起。該間隙調整過程和位置對準過程僅在下腔室已被升高并固定于上腔室之后才能夠準確地進行。

由于附著設備隨著基板尺寸的增大而變大，所以當顯示器尺寸增大時，下腔室以及放置于下腔室內的基板的重量也變得更重。因此，施加于升降并支撐下腔室的升降部件的載荷也增加。更大附著設備的更重載荷會導致升降螺桿彈性變形。結果，可能在間隙調整過程或位置對準過程中出現誤差。

發明內容

為了解決與現有技術有關的上述和其它的問題，提出了本發明。本發明的特征在于提供一種用于附著基板的設備，該設備在上腔室與下腔室之間設置有緩沖件，從而可以減小在對腔室進行真空排氣時作用于升降裝置上的載荷。

本發明的另一特征在于提供一種用于附著基板的設備，該設備包括固定裝置，該固定裝置連接于用于升降和支撐下腔室的升降部件，并利用磁力附著于外框架，在該設備中增加了升降部件的下腔室支撐力。

為了實現本發明的特征，提供了一種用于附著基板的設備，該設備包括：主框架；上腔室，安裝于主框架上，該上腔室保持上基板；下腔室，安裝于主框架上，該下腔室保持下基板，其中，上腔室和下腔室中的至少一個腔室可以移動，從而上腔室和下腔室可以合在一起以形成密封附著空間；以及緩沖件，設置于上腔室與下腔室之間，其中，緩沖件提供彈性力，該彈性力易于(趨于)使上腔室和下腔室保持分開。

此外，提供了一種用于附著基板的設備，該設備包括：主框架；上腔室，安裝于保持上基板的主框架上；下腔室，安裝于保持下基板的主框架上；移動裝置，移動上腔室和下腔室中的至少一個腔室，從而上腔室和下腔室可以合在一起以在上腔室與下腔室之間形成密封附著空間；以及至少一個固定裝置，附著于移動裝置的移動部分，其中，所述至少一個固定裝置選擇性地將移動裝置的移動部分連接于主框架。

附圖說明

將參照附圖詳細描述實施例，附圖中相同的參考標號表示相同的部件，附圖中：

圖1是示出了用于附著基板的設備的第一實施例的截面圖；

圖2示出了用于在圖1所示設備的上腔室與下腔室之間進行緩沖的緩沖件；

圖3A至3C是示出了在附著過程中如何升高下腔室的視圖；

圖4是示出了用于附著基板的設備的另一實施例的截面圖；

圖5A示出了固定裝置；