[發(fā)明專(zhuān)利]一種納米壓印光刻機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710178789.X
• 申請(qǐng)日: 2007-12-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101452207A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜驥;謝常青;岑專(zhuān)專(zhuān);商立偉;劉興華;劉明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/00
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/00
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周?chē)?guó)城

1.一種納米壓印光刻機(jī)，包括底座(11)、加熱板(12)、墊片(13)、 內(nèi)六角螺釘(14)、支架(15)、傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)、十字槽沉頭螺釘 (17)、螺桿(18)和扭力計(jì)(19)，其特征在于，

所述加熱板(12)放置在底座(11)上，墊片(13)放置在加熱 板(12)上，支架(15)放置在墊片(13)上，且所述支架(15)、墊 片(13)和加熱板(12)通過(guò)內(nèi)六角螺釘(14)固定在底座(11)上；

所述支架(15)的上梁中心處設(shè)有螺孔，下梁中心處設(shè)有通孔； 螺桿(18)套接在上梁螺孔內(nèi)，傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)套接在下梁通孔 內(nèi)，螺桿(18)和傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)相連并套接在支架(15)的梁 上；

所述十字槽沉頭螺釘(17)從支架(15)下梁前面中心處螺孔旋 進(jìn)，并頂住傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)中間圓柱外表面的條形凹槽；

所述傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)中部的柱面與所述支架(15)下梁中心 處設(shè)置的螺孔相適配；

所述螺桿(18)上端與扭力計(jì)(19)相連，螺桿(18)下端為一 球面，螺桿(18)中部的螺紋與所述上梁螺孔中的螺孔相適配。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印光刻機(jī)，其特征在于，所述 支架(15)有上下兩個(gè)梁，支架(15)底部設(shè)有與底座(11)相固定 的兩個(gè)底板，在下梁前面中心處設(shè)置有一個(gè)小的螺孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的納米壓印光刻機(jī)，其特征在于， 所述傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)上端為凹球面形的套筒結(jié)構(gòu)，中部柱面正中 開(kāi)有一條形凹槽，底部為一圓柱形壓塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的納米壓印光刻機(jī)，其特征在于，所述傳 動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)上的凹槽，其槽寬與所述支架(15)下梁前面中心 處的小孔孔徑相適配。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的納米壓印光刻機(jī)，其特征在于，所述傳 動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)頂端的凹球面形的套筒結(jié)構(gòu)與所述螺桿(18)底部 的圓珠相適配，使傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)與螺桿(18)組成一聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印光刻機(jī)，其特征在于，所述 傳動(dòng)導(dǎo)向壓桿(16)底部圓柱形壓塊和底座(11)上表面使用珠光體 材料制作而成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印光刻機(jī)，其特征在于，所述 扭力計(jì)(19)用于精確的測(cè)量施加在螺桿(18)上的扭力。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印光刻機(jī)，其特征在于，所述 加熱板(12)的溫度控制在150℃至180℃。