[發明專利]自動光學檢查方法

無效

• 申請號: 200710170086.2
• 申請日: 2007-11-09
• 公開（公告）號: CN101256067A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 崔鉉鎬
• 申請（專利權）人: AJU高技術公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/24;G01R31/309;G01R31/311
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 陳英俊

1.一種印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

在檢查形成于上述印制電路板上的圖案時，利用沿傾斜方向照射光得到的第一反射圖像和沿垂直方向照射光得到的第二反射圖像進行檢查。

2.如權利要求1所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

在上述印制電路板的底面粘貼用于保持平坦度的平坦保持用薄膜的狀態下進行檢查。

3.如權利要求2所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，上述平坦保持用薄膜由不透明的材質構成。

4.如權利要求1所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，先進行對上述第一反射圖像的檢查，然后進行對上述第二反射圖像的檢查。

5.如權利要求1所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

上述印制電路板是薄膜或帶形態的撓性基板，多個上述基板被并列配置并同時進行檢查；

為了保持并列配置的多個基板的平坦度，在多個上述基板的底面粘貼用于保持平坦度的平坦保持用薄膜的狀態下進行檢查。

6.如權利要求1所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

在上述印制電路板的圖案檢查項目中包括表面凹陷性不合格，

在上述第一反射圖像中不出現凹陷、但在上述第二反射圖像中出現的凹陷的圖案寬度是預設的寬度以下時，檢測為合格性表面凹陷。

7.如權利要求1所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

在上述印制電路板的圖案檢查項目中包括表面凹陷性不合格，

在上述第一反射圖像中出現的凹陷的圖案寬度是預設的寬度以下、在上述第二反射圖像中出現的凹陷的圖案寬度是預設的寬度以上時，檢測為表面凹陷性不合格。

8.如權利要求1所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

在上述印制電路板的圖案檢查項目中包括圖案形狀性不合格，

在上述第一反射圖像中出現的凹陷的圖案寬度是預設的寬度以上時，檢測為圖案形狀性不合格。

9.一種印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

在檢查形成于上述印制電路板上的圖案時，利用在首次沿傾斜方向照射光得到的第一反射圖像，先區分圖案成分和空間成分，來先執行圖案形狀檢查，然后利用在其次沿垂直方向照射光得到的第二反射圖像，參考由上述第一反射圖像得到的圖案成分的區域，以表面凹陷為中心進行檢查。

10.如權利要求9所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

為了保持平坦度，上述印制電路板在底面粘貼了平坦保持用薄膜的狀態下進行檢查，

上述平坦保持用薄膜是不透明的金屬材質。

11.如權利要求9或10所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

向上述印制電路板的一個方向移動并沿傾斜方向照射光而得到上述第一反射圖像，

向上述印制電路板的反方向移動并沿垂直方向照射光而得到上述第二反射圖像。

12.如權利要求9所述的印制電路板的自動光學檢查方法，其特征在于，

在上述印制電路板的圖案檢查項目中包括表面凹陷性不合格，

在上述第一反射圖像中不出現凹陷、但在上述第二反射圖像中出現的凹陷的圖案寬度是預設的寬度以下時，檢測為合格性表面凹陷。