[發明專利]鐵電存儲器用柱狀摻釹鈦酸鉍鐵電薄膜的制備方法無效
| 申請號： | 200710168369.3 | 申請日： | 2007-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN101168488A | 公開（公告）日： | 2008-04-30 |
| 發明（設計）人： | 于軍;楊斌;鄭朝丹;李佳;王耘波;高俊雄;周文利 | 申請（專利權）人： | 華中科技大學 |
| 主分類號： | C04B41/50 | 分類號： | C04B41/50;C04B35/462;G11B9/02 |
| 代理公司： | 華中科技大學專利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 存儲 器用 柱狀 摻釹鈦酸鉍鐵電 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種鐵電存儲器用柱狀摻釹鈦酸鉍鐵電薄膜的制備方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：
(1)制備摩爾濃度為0.04～0.05摩爾/升的Bi3.15Nd0.85Ti3O12的前軀體溶液；
(2)采用具有Pt為底電極的p型(100)Si作為襯底，在襯底上旋轉涂覆一層前軀體溶液，勻膠速度為3600～4000轉/分，勻膠時間為30～35秒；
(3)烘烤涂覆有前軀體溶液的襯底，烘烤溫度為150～200℃，烘烤時間為5～10分鐘；
(4)進行熱解，熱解溫度為350～400℃，熱解時間為5～10分鐘，熱解后把薄膜樣品從管式爐中直接拿出，置于室溫、空氣環境中；
(5)待薄膜樣品冷卻至室溫后，將其直接放入已升溫至645～655℃的管式爐中，在空氣氣氛下進行退火，退火時間為5～10分鐘；
(6)重復步驟(2)-步驟(5)直至獲得所需厚度的薄膜；
(7)將薄膜樣品放入管式爐中，在空氣氣氛下，隨爐從室溫升溫退火，升溫速度為2～10℃/分鐘，退火溫度為645～655℃，退火時間為20～30分鐘，得到柱狀摻釹鈦酸鉍鐵電薄膜。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：步驟(1)中，前軀體溶液采用下述過程制備：
(1.1)將鈦酸四正丁酯溶解于乙二醇獨甲醚、乙酰丙酮、冰醋酸的混合溶液中，在室溫下攪拌至溶液澄清；其中，鈦酸四正丁酯、乙酰丙酮和乙酰丙酮為等摩爾量，乙二醇獨甲醚的體積為乙酰丙酮體積的8～10倍；
(1.2)將五水硝酸鉍Bi(NO3)3·5H2O、六水硝酸釹Nd(NO3)3·6H2O按摩爾比3.25∶0.85溶解于乙二醇獨甲醚中，乙二醇獨甲醚的體積為步驟(1.1)中乙二醇獨甲醚體積的2～2.1倍，在室溫下攪拌至溶液澄清；
(1.3)將步驟(1.2)所得溶液加入到步驟(1.1)所得溶液中，在室溫下攪拌，得到混合溶液；
(1.4)過濾上述混合溶液，并加入適量乙二醇獨甲醚，得到摩爾濃度為0.04～0.05摩爾/升的前軀體溶液。
3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于：步驟(5)中，直接把薄膜樣品從室溫、空氣環境中放入已升溫至645～655℃的管式爐中退火，退火氣氛為空氣，退火時間為5～10分鐘。
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