[發(fā)明專利]外觀檢查裝置及外觀檢查方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710161657.6
• 申請日: 2007-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN101158649A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 橫田敦俊
• 申請（專利權(quán)）人: 奧林巴斯株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N21/892
• 分類號(hào): G01N21/892;G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢查晶片等基板的外觀的裝置及方法。

本申請要求2006年9月29日申請的日本專利申請2006-268478號(hào)的優(yōu)先權(quán)，在這里引用其內(nèi)容。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制造工廠等中，通過檢查半導(dǎo)體晶片的周緣部或包括周緣部的晶片整個(gè)面，來進(jìn)行在處理的中途產(chǎn)生的損傷或缺陷等的檢查。例如，作為自動(dòng)檢查晶片的周緣部的裝置，有日本特開2003-243465號(hào)公報(bào)所公開的裝置。該檢查裝置將晶片安裝在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，并在使彈性體抵接晶片的周端面以限制晶片位置的狀態(tài)下實(shí)施檢查。在晶片的周緣部附近，在同一平面上配置有拍攝晶片周緣部的上表面的照相機(jī)、拍攝側(cè)面的照相機(jī)、以及拍攝下表面的照相機(jī)。在拍攝周緣部時(shí)，在指定晶片的槽口位置后，使晶片旋轉(zhuǎn)，并從各照相機(jī)取入圖像。各照相機(jī)的圖像在攝像數(shù)據(jù)處理部進(jìn)行處理，除了槽口的部分之外，自動(dòng)進(jìn)行缺陷提取處理。

通常，在這樣的裝置中已知有以下所述的要求。有時(shí)晶片的厚度和周緣部的研磨形狀因晶片的制造商等而不同。因此，即使是用一個(gè)菜單進(jìn)行的檢查，在晶片的種類和制造批次變化時(shí)，也需要進(jìn)行照相機(jī)的聚焦(對焦)調(diào)節(jié)，以便能夠得到要檢查的部分的清楚的圖像。當(dāng)在照相機(jī)中安裝有變焦機(jī)構(gòu)的情況下，需要進(jìn)行變焦調(diào)節(jié)。

此外，晶片有時(shí)在處理過程中發(fā)生微小的翹曲，特別是在周緣部發(fā)生周向的波動(dòng)。因此，每次在晶片的周緣部上改變檢查位置時(shí)，都需要進(jìn)行對焦調(diào)節(jié)和變焦調(diào)節(jié)。

再有，用于拍攝周緣部的照明也需要根據(jù)周緣部的位置、凹凸形狀、損傷、灰塵的附著等來進(jìn)行調(diào)節(jié)。在使用多個(gè)照明的情況下，需要對各照明進(jìn)行調(diào)節(jié)。

對焦調(diào)節(jié)、變焦調(diào)節(jié)、照明的調(diào)光其作業(yè)本身要耗費(fèi)時(shí)間，其需要熟練，而且，在實(shí)際進(jìn)行檢查后，如果需要調(diào)節(jié)則要進(jìn)行調(diào)節(jié)，要從最初重新進(jìn)行再次檢查，所以成為使檢查的節(jié)拍時(shí)間增大的原因。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于此類問題而完成，其主要目的是在使用菜單的檢查中途能夠簡單且快速地進(jìn)行調(diào)節(jié)。

為了解決上述問題，本發(fā)明涉及一種外觀檢查裝置，其具有：將晶片保持為可自由旋轉(zhuǎn)的晶片保持部；和取得晶片的周緣部的放大像的周緣攝像部，該外觀檢查裝置按照預(yù)先設(shè)定的菜單來進(jìn)行晶片的周緣部的外觀檢查。外觀檢查裝置具有：插入處理部，其在按照菜單來進(jìn)行晶片的周緣部的外觀檢查的中途，使按照菜單的檢查中斷，并執(zhí)行插入處理；檢查條件設(shè)定部，其能夠按檢查條件的每個(gè)項(xiàng)目輸入檢查條件的變更，以便能夠作為插入處理以與菜單不同的檢查條件進(jìn)行檢查；以及檢查者為了向上述檢查條件設(shè)定部輸入檢查條件而使用的輸入裝置。

在該外觀檢查裝置中，在按照菜單來實(shí)施檢查的中途，通過執(zhí)行插入處理，能夠進(jìn)行與菜單不同的條件的檢查。插入處理所進(jìn)行的檢查可在一個(gè)部位實(shí)施，也可在多個(gè)部位實(shí)施。

根據(jù)本發(fā)明，由于可在按照菜單來實(shí)施檢查的中途執(zhí)行插入處理，所以可根據(jù)晶片的個(gè)體差和檢查者側(cè)的情況來進(jìn)行與菜單不同的條件的檢查。即使在晶片存在個(gè)體差等的情況下，也可高精度地進(jìn)行檢查。由于可在檢查過程中變更條件，所以調(diào)節(jié)容易，且可不從最初重新進(jìn)行檢查，所以可縮短檢查的節(jié)拍時(shí)間。

附圖說明

圖1是表示本實(shí)施方式的外觀檢查裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示周緣攝像部的照相機(jī)的配置示例的圖。

圖3是表示設(shè)定檢查條件的畫面顯示的一個(gè)示例的圖。

圖4是表示包括插入處理在內(nèi)的外觀檢查裝置的處理的流程圖。

圖5是表示具備旋控鍵的外觀檢查裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。

圖6是登記插入處理時(shí)的菜單時(shí)的流程圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，外觀檢查裝置1具有在未圖示的機(jī)架等上固定的基部2，在基部2上安裝有檢查部3。檢查部3具有載置作為檢查對象的晶片W的晶片保持部4，和接近晶片保持部4配置的、取得晶片W的周緣部的圖像的周緣攝像部5。晶片保持部4和周緣攝像部5由裝置控制部6控制。再有，除了周緣攝像部5以外，還可設(shè)置能夠觀察晶片W的整個(gè)面的顯微鏡等表面檢查部。