[發明專利]外觀檢查裝置及外觀檢查方法

無效

• 申請號: 200710161657.6
• 申請日: 2007-09-27
• 公開（公告）號: CN101158649A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發明（設計）人: 橫田敦俊
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/892
• 分類號: G01N21/892;G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

1.一種外觀檢查裝置，其特征在于，在該外觀檢查裝置(1)中具有：

將晶片(W)保持為可自由旋轉的晶片保持部(4)；

取得晶片的周緣部的放大像的周緣攝像部(5)；

插入處理部(52)，其在按照預先設定的菜單來進行晶片的周緣部的外觀檢查的中途，使按照菜單的檢查中斷，并執行插入處理；

檢查條件設定部，其能夠按檢查條件的每個項目輸入檢查條件的變更，以便能夠作為插入處理以與菜單不同的檢查條件進行檢查；以及

檢查者為了向上述檢查條件設定部輸入檢查條件而使用的輸入裝置(42、43)。

2.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述插入處理部在以與菜單不同的檢查條件進行了檢查之后，使按照菜單的檢查在中斷的地方再次開始。

3.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述外觀檢查裝置具有菜單登記部(53)，當通過上述插入處理部以與菜單不同的檢查條件進行了檢查之后，上述菜單登記部(53)將該檢查條件作為新的菜單進行登記。

4.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

依據上述菜單的檢查在周向上隔開預定距離進行多個部位或多個區域的觀察。

5.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述外觀檢查裝置具有對來自上述周緣攝像部的圖像進行圖像處理的圖像處理部(54)，上述圖像處理部進行取預先輸入的基準圖像與通過上述周緣攝像部攝像得到圖像的輝度的差的處理，并且將上述輝度的差超過了預先設定的設定值的區域看作為缺陷。

6.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述外觀檢查裝置具有從上述周緣攝像部的圖像檢測出輝度的圖像處理部，在超過預定閾值時，自動轉移到插入處理。

7.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述插入處理部在進入插入處理時控制上述晶片保持部，以使在解除插入之前，使上述晶片保持部以小于等于預定的速度進行旋轉。

8.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述插入處理部預先存儲與上述周緣攝像部的倍率對應的旋轉速度，并根據插入處理時發生了變更的倍率來控制上述晶片保持部的旋轉速度。

9.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述檢查條件設定部具有：按可變化的檢查條件的每個項目設置的滾動條(71、72、73、74)；和表示通過滾動條設定的條件的值的顯示欄(71A、72A、73A、74A)。

10.一種外觀檢查方法，按照預先設定的菜單使晶片(W)旋轉，并同時觀察周緣部的放大像，從而進行晶片的周緣部的外觀檢查，

在按照菜單來進行晶片的周緣部的外觀檢查的中途，接收來自檢查者的指令，使按照菜單的檢查中斷，以檢查者進行了變更的檢查條件實施檢查，在不同的檢查條件下的檢查結束后，再次開始依據菜單的檢查。