[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710161296.5
• 申請(qǐng)日: 1998-01-16
• 公開（公告）號(hào): CN101154640A
• 公開（公告）日: 2008-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 橋元伸晃
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L23/485
• 分類號(hào): H01L23/485
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王永剛

1.一種半導(dǎo)體裝置，具有：

半導(dǎo)體元件；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件的區(qū)域內(nèi)，用于與外部連接的外部電極；

通過連接部分連接到上述外部電極上并使上述半導(dǎo)體元件與上述外部電極電連接的布線；以及

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件上的應(yīng)力緩和部分，

上述布線在平面方向上屈曲，在對(duì)于上述應(yīng)力的發(fā)生方向大體上成直角的方向上，從上述外部電極引出。

2.一種半導(dǎo)體裝置，具有：

半導(dǎo)體元件；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件的區(qū)域內(nèi)，用于與外部連接的外部電極；

通過連接部分連接到上述外部電極上并使上述半導(dǎo)體元件與上述外部電極電連接的布線；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件上的應(yīng)力緩和部分；以及

從上述外部電極對(duì)上述應(yīng)力緩和部分傳遞應(yīng)力的應(yīng)力傳遞部分，

上述布線在平面方向上屈曲而設(shè)于上述應(yīng)力緩和部分之下，

上述連接部分設(shè)置為貫通上述應(yīng)力緩和部分，

在上述應(yīng)力緩和部分上，在上述布線上進(jìn)行接觸的部位與在上述應(yīng)力傳遞部分下進(jìn)行接觸的部位之間形成空間。

3.權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其特征是：

上述應(yīng)力緩和部分形成為，在以從上述布線開始到上述應(yīng)力傳遞部分為止的厚度形成的應(yīng)力緩和部分中刻蝕掉從上述應(yīng)力傳遞部分的外側(cè)開始到下方為止的部分而形成的形狀。

4.一種半導(dǎo)體裝置，具有：

半導(dǎo)體元件；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件的區(qū)域內(nèi)，用于與外部連接的外部電極；

通過連接部分連接到上述外部電極上并使上述半導(dǎo)體元件與上述外部電極電連接的布線；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件上的應(yīng)力緩和部分；以及

從上述外部電極對(duì)上述應(yīng)力緩和部分傳遞應(yīng)力的應(yīng)力傳遞部分，

上述應(yīng)力緩和部分具有第1應(yīng)力緩和層和形成于該第1應(yīng)力緩和層上的第2應(yīng)力緩和層；

上述布線在平面方向上屈曲而設(shè)于上述第1和第2應(yīng)力緩和層之間；

上述連接部分，設(shè)置為貫通上述第2應(yīng)力緩和層；以及

上述應(yīng)力傳遞部分具有：在上述第1和第2應(yīng)力緩和層之間一體性形成于上述連接部分上的第1傳遞部分和在上述第2應(yīng)力緩和層上一體性地形成于上述連接部分上的第2傳遞部分。

5.權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置，其特征是：

上述第2傳遞部分以比上述第1傳遞部分還大的面積向上述第2應(yīng)力緩和層傳遞上述應(yīng)力。

6.一種半導(dǎo)體裝置，具有：

半導(dǎo)體元件；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件的區(qū)域內(nèi)，用于與外部連接的外部電極；

通過連接部分連接到上述外部電極上并使上述半導(dǎo)體元件與上述外部電極電連接的布線；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件上的應(yīng)力緩和部分；以及

從上述外部電極對(duì)上述應(yīng)力緩和部分傳遞應(yīng)力的應(yīng)力傳遞部分，

上述布線在平面方向上屈曲，

上述應(yīng)力傳遞部分被設(shè)置為對(duì)上述連接部分呈非接觸狀態(tài)。

7.權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置，其特征是：

上述應(yīng)力緩和部分還具有隔離部分，用于阻止應(yīng)力在支持上述應(yīng)力傳遞部分的支持區(qū)域和形成上述連接部分的連接區(qū)域之間傳遞。

8.權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置。其特征是：

上述隔離部分是溝。

9.一種半導(dǎo)體裝置，具有：

半導(dǎo)體元件；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件的區(qū)域內(nèi)，用于與外部連接的外部電極；

通過連接部分連接到上述外部電極上并使上述半導(dǎo)體元件與上述外部電極電連接的布線；以及

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件上的應(yīng)力緩和部分，

上述布線在平面方向上屈曲而具有與上述半導(dǎo)體元件之間形成中空空間的彎曲部分。

10.權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其特征是：

其構(gòu)成為向上述中空空間注入凝膠材料。

11.一種半導(dǎo)體裝置，具有：

半導(dǎo)體元件；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件的區(qū)域內(nèi)，用于與外部連接的外部電極；

通過連接部分連接到上述外部電極上并使上述半導(dǎo)體元件與上述外部電極電連接的布線；

設(shè)于上述半導(dǎo)體元件上的應(yīng)力緩和部分；以及

從上述外部電極對(duì)上述應(yīng)力緩和部分傳遞應(yīng)力的應(yīng)力傳遞部分，

上述布線在平面方向上屈曲，

上述應(yīng)力緩和部分具有第1應(yīng)力緩和層和形成于該第1應(yīng)力緩和層之上的第2應(yīng)力緩和層，

上述布線具有形成于上述第1應(yīng)力緩和層之下的第1布線部分和形成于上述第1與第2應(yīng)力緩和層之間的第2布線部分，

上述連接部分具有貫通上述第1應(yīng)力緩和層且連接上述第1和第2布線部分的第1布線連接部分，和貫通上述第2應(yīng)力緩和層把上述外部電極與上述第2布線部分連接起來的第2布線連接部分，上述第1和第2布線連接部分設(shè)于平面偏離開來的位置上，

上述應(yīng)力傳遞部分具有：在上述第1和第2應(yīng)力緩和層之間一體性地形成于上述第1布線連接部分上的第1傳遞部分，和在上述第2應(yīng)力緩和層之上一體性地形成于上述第2布線連接部分上的第2傳遞部分。