[發(fā)明專利]閃爍器面板和放射線圖象傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710154404.6 | 申請(qǐng)日: | 2000-04-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101290353A | 公開(公告)日: | 2008-10-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 本目卓也;高林敏雄 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浜松光子學(xué)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | G01T1/20 | 分類號(hào): | G01T1/20 |
| 代理公司: | 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 龍淳 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 閃爍 面板 放射線 圖象 傳感器 | ||
本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2000年4月13日、申請(qǐng)?zhí)枮?0806329.X(PCT/JP00/024?22)、發(fā)明名稱為“閃爍器面板和放射線圖象傳感器”的專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。?
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及用于醫(yī)療用的X射線攝影等的閃爍器面板和放射線圖象傳感器。?
背景技術(shù)
以前,在醫(yī)療,工業(yè)用的X射線攝影中,可以用X射線感光底片,但是考慮到便利性和攝影結(jié)果的保存性,現(xiàn)在正在普及用放射線檢測(cè)器的放射線成象系統(tǒng)。在這種放射線成象系統(tǒng)中,用放射線檢測(cè)器取得由兩維放射線產(chǎn)生的象素?cái)?shù)據(jù)變換而成的電信號(hào),通過處理裝置對(duì)該信號(hào)進(jìn)行處理后在監(jiān)視器上顯示出來。?
作為有代表性的放射線檢測(cè)器,存在著具有將在鋁,玻璃,融化石英等的基片上形成閃爍器的閃爍器面板和攝像元件貼合在一起的構(gòu)造的放射線檢測(cè)器。在這種放射線檢測(cè)器中,用閃爍器將從基片一側(cè)入射的放射線變換成光后由攝像元件檢測(cè)出來(請(qǐng)參照日本平成7年公布的7-21560號(hào)專利公報(bào))。?
可是為了在放射線檢測(cè)器上得到鮮明的圖象,必須用光輸出足夠大的閃爍器面板,但是在上述放射線檢測(cè)器中光輸出都不足夠大。?
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題是提供使光輸出增大的閃爍器面板和用使光輸出增大的閃爍器面板的放射線圖象傳感器。?
本發(fā)明的閃爍器面板的特征是備有透過放射線的基片,設(shè)置在上述基片上的反射性金屬薄膜,覆蓋上述反射性金屬薄膜全體的保護(hù)膜,和堆積在上述保護(hù)膜上的閃爍器。如果根據(jù)本發(fā)明的閃爍器面板,則因?yàn)榉瓷湫越饘俦∧とw被保護(hù)膜覆蓋,所以能夠防止由于在閃爍器中含有的很少水分引起的變質(zhì)等,從而能夠防止反射性金屬薄膜作為反射膜的功能減退。因此,能夠維持增大了的閃爍器面板的光輸出。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是備有透過放射線的基片,設(shè)置在上述基片上的反射性金屬薄膜,設(shè)置在上述反射性金屬薄膜上的保護(hù)膜,和堆積在除上述保護(hù)膜上的邊緣部分外的位置上的閃爍器。如果根據(jù)本發(fā)明的閃爍器面板,則因?yàn)殚W爍器與反射性金屬薄膜是隔開的,所以能夠防止由于在閃爍器中含有的很少水分引起的變質(zhì)等,從而能夠防止反射性金屬薄膜作為反射膜的功能減退。因此,能夠維持增大了的閃爍器面板的光輸出。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是反射性金屬薄膜是由包含Al,Ag,Cr,Cu,Ni,Ti,Mg,Rh,Pt和Au的一組物質(zhì)中的物質(zhì)的材料形成的膜。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是保護(hù)膜是由包含LiF,MgF2,SiO2,TiO2,Al2O3,MgO,SiN和聚酰亞胺的一組物質(zhì)中的物質(zhì)的材料形成的膜。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是保護(hù)膜是由包含上述Al,Ag,Cr,Cu,Ni,Ti,Mg,Rh和Pt的一組物質(zhì)中的物質(zhì)的材料形成的氧化膜。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是保護(hù)膜是由例如SiN等的無機(jī)膜和例如聚酰亞胺等的有機(jī)膜形成的膜。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是閃爍器被有機(jī)膜覆蓋。如果根據(jù)本發(fā)明的閃爍器面板,則能夠提高閃爍器的耐濕性。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是基片表面的至少一部分被有機(jī)膜覆蓋。如果根據(jù)本發(fā)明的閃爍器面板,則與有機(jī)膜只覆蓋閃爍器的情形比較,能夠進(jìn)一步提高閃爍器的耐濕性。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是進(jìn)一步整個(gè)基片表面都被有機(jī)膜覆蓋。如果根據(jù)本發(fā)明的閃爍器面板,則與有機(jī)膜覆蓋閃爍器和基片表面至少一部分的情形比較,能夠進(jìn)一步提高閃爍器的耐濕性。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是與閃爍器面板相對(duì)置地配置攝像元件。如果根據(jù)本發(fā)明的放射線圖象傳感器,則因?yàn)殚W爍器面板能夠維持增大了的光輸出,所以能夠維持放射線圖象傳感器的輸出。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是備有玻璃制的基片,設(shè)置在上述基片上的反射膜,堆積在上述反射膜上的閃爍器,和覆蓋上述閃爍器的透明有機(jī)膜。?
如果根據(jù)本發(fā)明的閃爍器面板,則因?yàn)橛貌Aе频幕?,即便在大面積化的情形中也能夠使基片保持某種程度的鋼性,所以能夠抑制當(dāng)在基片上形成閃爍器時(shí)基片的彎撓,從而能夠提閃爍器面板的性能。?
又,本發(fā)明的閃爍器面板的特征是進(jìn)一步基片表面的至少一部分被透明有機(jī)膜覆蓋。如果根據(jù)本發(fā)明的閃爍器面板,則與有機(jī)膜只覆蓋閃爍器的情形比較,能夠進(jìn)一步提高閃爍器的耐濕性。?
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