[發明專利]閃爍器面板和放射線圖象傳感器

有效

• 申請號: 200710154404.6
• 申請日: 2000-04-13
• 公開（公告）號: CN101290353A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 本目卓也;高林敏雄
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01T1/20
• 分類號: G01T1/20
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

1.一種閃爍器面板，其特征在于，

它備有：

透過放射線的基片，

設置在所述基片上的反射性金屬薄膜，

覆蓋所述反射性金屬薄膜全體的保護膜，和

通過蒸涂堆積在所述保護膜上的閃爍器，

所述反射性金屬薄膜在透過放射線的同時，反射在所述閃爍器上發出的光，

所述保護膜具有從所述閃爍器保護所述反射性金屬薄膜的功能。

2.一種閃爍器面板，其特征在于，

它備有：

透過放射線的基片，

設置在所述基片上的反射性金屬薄膜，

設置在所述反射性金屬薄膜上的保護膜，和

通過蒸涂使所述保護膜的邊緣部分露出那樣地堆積在所述保護膜上的閃爍器，

所述反射性金屬薄膜在透過放射線的同時，反射在所述閃爍器上發出的光，

所述保護膜具有從所述閃爍器保護所述反射性金屬薄膜的功能。

3.如權利要求1或2所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述反射性金屬薄膜直接配置在所述基片上。

4.如權利要求1或2所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述反射性金屬薄膜是由包含Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt和Au構成的一組物質中的物質的材料形成的膜。

5.如權利要求1或2所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述保護膜是無機膜。

6.如權利要求5所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述保護膜是由包含LiF、MgF₂、SiO₂、TiO₂、Al₂O₃、MgO、SiN和聚酰亞胺構成的一組物質中的物質的材料形成的膜。

7.如權利要求5所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述保護膜是金屬氧化膜。

8.如權利要求7所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述保護膜是所述反射性金屬薄膜的氧化膜。

9.如權利要求1或2所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述保護膜是有機膜。

10.如權利要求9所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述保護膜是由聚酰亞胺形成的。

11.如權利要求1或2所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述保護膜是由無機膜和有機膜形成的。

12.如權利要求1或2所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述閃爍器被有機膜覆蓋。

13.如權利要求12所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述有機膜進一步覆蓋所述基片的表面的至少一部分。

14.如權利要求13所述的閃爍器面板，其特征在于，

所述有機膜進一步覆蓋所述基片的整個表面。

15.一種放射線圖象傳感器，其特征在于，

與權利要求1～14的任何一項中所述的閃爍器面板的所述閃爍器相對置地配置攝像元件。