[發明專利]促動器裝置以及液體噴射頭有效
| 申請號： | 200710152847.1 | 申請日： | 2007-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN101150168A | 公開（公告）日： | 2008-03-26 |
| 發明（設計）人： | 龜井宏行 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/09 | 分類號： | H01L41/09;H01L41/047;H02N2/02;B41J2/14 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 李貴亮 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 促動 裝置 以及 液體 噴射 | ||
【權利要求書】：
1.一種促動器裝置，其特征在于，
具備：壓電元件，其由設置于基板一面側的下電極、設置于該下電極上的壓電體層以及設置于該壓電體層上的上電極構成，
所述下電極含有貴重金屬，用二次離子質譜分析裝置即SIMS在厚度方向上測定所述下電極時，在所述下電極的所述基板側的邊界檢測出的氧離子的強度Z1、和在所述下電極的所述基板側的邊界檢測出的所述貴重金屬的離子的強度Z2之比Z1/Z2為0.2以上。
2.如權利要求1所述的促動器裝置，其特征在于，
所述基板上設有構成振動膜的基底層，在該基底層上設有所述下電極。
3.如權利要求2所述的促動器裝置，其特征在于，
所述基底層是從SiO2層、ZrO2層以及Zr1-XMXOY層中選擇的至少一層，其中，0.01≤X≤0.15，Y＝2.0±α，α是化學計量上容許的值，M是周期表的IIA族元素、IIIA族元素或IIIB族元素。
4.如權利要求3所述的促動器裝置，其特征在于，
所述基底層為ZrO2層，所述ZrO2層是平均結晶粒徑為20～100nm的柱狀結晶，(-111)面優先取向。
5.如權利要求3所述的促動器裝置，其特征在于，
所述基底層為Zr1-XMXOY層，所述M是從Y以及Ca中選擇的至少一種。
6.一種液體噴射頭，其特征在于，
作為用于噴射液體的液體噴出機構，具備權利要求1～5中任意一項所述的促動器裝置。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于精工愛普生株式會社，未經精工愛普生株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200710152847.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：抗腫瘤試劑和新型DNase
- 下一篇：具有氮化金屬層的多層鋼墊圈
