[發明專利]電子束加熱蒸發方法與裝置及其用途

無效

• 申請號: 200710150785.0
• 申請日: 2007-12-06
• 公開（公告）號: CN101177777A
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發明（設計）人: 張德賢;蔡宏琨;隋妍萍;陶科;薛穎;席強;姜元建;馮凱;齊龍茵;趙敬芳;王林申;孫云
• 申請（專利權）人: 南開大學
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/54;C23C14/06
• 代理公司: 天津佳盟知識產權代理有限公司
• 代理人: 廖曉榮

1.一種電子束加熱蒸發方法，其特征在于：所述方法結合電子束加熱蒸發和電阻加熱蒸發兩種蒸發方式，由高壓直流電源為燈絲熱陰極提供負偏壓，使之與接地坩堝間形成強電場；另由低壓交流電源為燈絲熱陰極提供一個大小可調的工作電流，加熱后的燈絲熱陰極用以發射電子束；所述電子束束流在強電場作用下，高速轟擊坩堝，將坩堝加熱，用以蒸發鍍膜材料。

2.按照權利要求1所述的電子束加熱蒸發方法，其特征在于：調整調制極電位略低于燈絲熱陰極電位，調制電子束束流大小。

3.按照權利要求1所述的電子束加熱蒸發方法，其特征在于：調節負偏壓改變電場強度，改變電子束流能量調節坩堝溫度。

4.按照權利要求2或3所述的電子束加熱蒸發方法，其特征在于：所述電子束束流大小由坩堝1與地之間串聯的電子束流監測儀監測。

5.一種權利要求1所述的電子束加熱蒸發裝置，包括：燈絲熱陰極、調制極、坩堝、冷卻水套和電子光學系統電路，其特征在于：所述坩堝由導電支架支撐，其下方設有上開口的調制極；所述調制極外設有冷卻水套，并在其內部設置燈絲熱陰極。

6.按照權利要求5所述的電子束加熱蒸發裝置，其特征在于：所述電子光學系統電路包括高壓直流電源B1、低壓交流電源B2和電子束束流監測儀表A；其中：所述高壓直流電源B1為燈絲熱陰極提供穩定的負偏壓，坩堝接地，二者間形成強電場，電子束在強電場作用下，高速轟擊坩堝；所述低壓交流電源B2為燈絲熱陰極提供一個可調的工作電流，通過電位器調節電流使燈絲熱陰極加熱發射電子束流。

7.按照權利要求5所述的電子束加熱蒸發裝置，其特征在于：所述坩堝與地之間串聯一毫安表，作為電子束束流監測儀M1。

8.按照權利要求5所述的電子束加熱蒸發裝置，其特征在于：所述坩堝導電支架由水平托架和縱向支架組成，水平托架和縱向支架的連接處使用真空陶瓷塊隔熱，用連接螺栓導通電流。

9.按照權利要求5所述的電子束加熱蒸發裝置，其特征在于：所述燈絲是用鎢材料制成盤香形，并且經過加熱定型。

10.權利要求1所述的電子束加熱蒸發方法的用途，其特征在于用于制備電致變色器件的氧化鎢薄膜和氟化鋰薄膜，及制備聚酰亞胺襯底柔性薄膜太陽電池金屬鎳薄膜材料。