[發(fā)明專利]測試探針裝置及其測試插座

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710149585.3
• 申請日: 2007-09-12
• 公開（公告）號: CN101231306A
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李彩允
• 申請（專利權(quán)）人: 李諾工業(yè)有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/02;G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃威;徐金偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種測試探針裝置，尤其是由非導(dǎo)電性材料制成的彈性板與柱塞結(jié)合的半導(dǎo)體芯片測試探針裝置及其測試插座。

背景技術(shù)

芯片是一種通過薄而小的雕刻板表面上的邏輯元件分別執(zhí)行各種功能的集成電路，來自印刷電路板的電氣信號等通過總線(Bus)傳輸進來后執(zhí)行上述功能。

一般來說，各式各樣的電子產(chǎn)品里安裝了許多芯片，這些芯片足以決定電子產(chǎn)品的性能。

印刷電路板(PCB：printed?circuit?board)是在環(huán)氧或酚醛樹脂等絕緣體制成的薄基板上利用導(dǎo)電的銅形成電路布線并加以涂覆而成的，在電路布線上焊接集成電路、電阻或開關(guān)等電氣元件即可把上述元件安裝到印刷電路板上。

微芯片(Micro-chip)是上述電路板的電子回路經(jīng)過高密度集成化過程后制成的芯片，把芯片安裝到電子產(chǎn)品上并完成組裝之前，為了確認(rèn)上述芯片是否正常而必須使用檢查裝置進行測試。

其中一個檢查方法是將芯片置于測試插座裝置上進行測試，為了在上述插座裝置里測試芯片時避免破壞芯片，需要安裝測試探針裝置后使用。

一般來說，在測試用印刷電路板上安裝測試插座，然后把作為測試對象的微芯片放在上述測試插座的上部并進行測試，上述測試插座則安裝多個測試探針裝置。

圖1是現(xiàn)有測試探針裝置的剖視圖。

如圖所示，上述探針裝置包括外筒8及位于上述外筒內(nèi)部并可以滑動的測試探針7，上述外筒的下端配置接觸銷6，上述外筒內(nèi)部包含了可以彈性支持上述探針的壓縮螺旋彈簧9。

具有上述結(jié)構(gòu)的上述探針裝置在檢查微芯片時，把微芯片置于測試插座的上部，測試插座上的加壓部往下壓微芯片并使微芯片接觸探針裝置的探針。

但是上述的現(xiàn)有技術(shù)由于進入探針的電流是通過接觸外筒與彈簧間接輸入的，不僅接觸抵抗大，而且過電流也會使彈簧的彈性力減弱或增加電流的信號路徑(Signal?pass)，進而降低了探針測試的可靠性。

而且，近來隨著集成技術(shù)的發(fā)展而使半導(dǎo)體芯片日益小型化，導(dǎo)引端子的間隔也跟著縮小，因此其測試探針裝置也需要小型化，使得通過彈性彈簧為測試探針提供彈性力的方法達(dá)到了一定界限。

針對上述探針裝置提出了改善方案的韓國專利廳專利申請第10-2001-0075606號與注冊號碼第03127404號等專利使用了具有導(dǎo)電性的彈簧或具有導(dǎo)電性的硅部的技術(shù)方案。

此外，由本申請人申請專利的第10-2006-0075667號申請案公開了一種由探針部與彈性部構(gòu)成一體的測試探針裝置。

然而，對于技術(shù)發(fā)展所引起的高密度集成電路測試裝置的小型化需求，現(xiàn)有的上述技術(shù)無法適應(yīng)，由于其形狀比較復(fù)雜而在各零件的生產(chǎn)與組裝上遇到較大的困難。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點，本發(fā)明的目的是提供一種構(gòu)造簡單、制作容易、減少信號路徑以確保測試可靠性的測試探針裝置及其測試插座。

本發(fā)明的另一個目的是提供一種大幅減少了測試裝置尺寸的測試探針裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的測試探針裝置包括下列單元：彈性板，由非導(dǎo)電性材料制成并具有貫通孔，上述貫通孔對應(yīng)于測試對象的接觸端子的位置；柱塞，包括柱塞頭部與柱塞本體，上述柱塞頭部結(jié)合在上述貫通孔的上側(cè)并受到上述彈性板的彈性支持，上述柱塞本體從上述柱塞頭部的下部面中心延伸出來；以及接觸銷，其中心部的凹陷狀收納部與上述柱塞本體接觸并可以在上述貫通孔的下部結(jié)合。

上述收納部貫通了上述接觸銷的下部，上述柱塞頭部的外柱面形成第一突出部，上述的上部凹陷部位則形成第一拘束部，而上述第一突出部受到上述第一拘束部的拘束。

上述第一突出部以連續(xù)的環(huán)形突出于上述柱塞頭部的外柱面上。

在上述接觸銷的外柱面形成第二突出部，在上述的下凹陷部則形成第二拘束部，而上述第二突出部受到上述第二拘束部的拘束，上述接觸銷是由金屬及導(dǎo)電性橡膠材料制成的。上述第二突出部以連續(xù)的環(huán)形突出于上述接觸銷的外柱面上。

彈性件結(jié)合在上述柱塞與接觸銷之間，上述彈性件是插入上述柱塞本體的外柱面與貫通孔之間的壓縮螺旋彈簧，上述壓縮螺旋彈簧的端部分別接觸柱塞頭部的下部面與接觸銷的上部面。

此時，上述彈性板在上述貫通孔與貫通孔之間另外貫通了彈性輔助孔，上述彈性輔助孔的直徑小于上述貫通孔。

在上述收納部的內(nèi)柱面具有安置部，包括襯墊，固定在上述安置部并可以彈性支持上述柱塞本體的下部，測試電流從上述柱塞的上部經(jīng)過上述襯墊流到接觸銷的下部。