[發(fā)明專利]基板檢查裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710149251.6 | 申請日： | 2007-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN101144920A | 公開（公告）日： | 2008-03-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 藤森洋志 | 申請（專利權(quán)）人： | 奧林巴斯株式會社 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13;B23Q1/25;H01L21/677;H01L21/67;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 黨曉林 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢查 裝置 | ||
1.一種基板檢查裝置，該基板檢查裝置具有：
用于搬運作為被檢體的薄板狀的基板的搬運臺；以及
多個單側(cè)搬運部，它們配置在搬運臺的、與搬運方向正交的方向中的任意側(cè)，它們保持基板的端部，并對基板施加搬運力，
該基板檢查裝置通過在多個單側(cè)搬運部之間依次交接基板，來進行基板的搬運。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，
在搬運方向上相鄰地配置有多個搬運臺，
多個單側(cè)搬運部配置成，在各搬運臺的相鄰位置上，在基板位于相鄰的搬運臺中的任一方的端部上的狀態(tài)下，多個單側(cè)搬運部中的一個單側(cè)搬運部能夠?qū)⒒褰唤咏o多個單側(cè)搬運部中的另一個單側(cè)搬運部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，
多個單側(cè)搬運部中的一個單側(cè)搬運部與多個單側(cè)搬運部中的另一個單側(cè)搬運部設于在基板的交接位置上隔著搬運臺對置的位置上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，
搬運臺由通過氣體噴射來使基板浮起的氣體浮起臺構(gòu)成。
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G02F 用于控制光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào)，上述器件或裝置的光學操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學性質(zhì)來修改的；用于上述操作的技術(shù)或工藝；變頻；非線性光學；光學
G02F1-00 控制來自獨立光源的光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學
G02F1-01 .對強度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導結(jié)構(gòu)中的
