[發明專利]外觀檢查用基板保持裝置

無效

• 申請號: 200710149202.2
• 申請日: 2007-09-06
• 公開（公告）號: CN101140245A
• 公開（公告）日: 2008-03-12
• 發明（設計）人: 岡平裕幸
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

技術領域

本發明涉及例如對液晶顯示器(LCD)用的玻璃基板或半導體基板等的各種基板、優選為大型基板進行檢查的外觀檢查裝置的基板保持裝置。

本申請對于2006年9月8日申請的日本專利申請第2006-244154號主張優先權，并在此引用其內容。

背景技術

以往，在例如液晶顯示器(LCD)和等離子體顯示器(PDP)這些平板顯示器的領域中，在平板顯示器的制造工序中，制造玻璃基板，進行缺陷檢查。作為缺陷檢查方法，具有：目視檢查基板上的污物等異物或傷痕等缺陷的宏觀檢查；和拍攝由顯微鏡放大后的像并利用監視器等進行觀察的微觀檢查。

在進行這些檢查時，選擇地使用向應該觀察的基板表面照射照明光的落射照明和從基板的背面照射照明光的透射照明，對有無缺陷以及缺陷進行觀察。

另外，近些年來玻璃基板等大型化而出現了一邊超過2m那種大型尺寸的基板，由于這種大型基板為薄型所以剛性變小。在檢查這種基板時，為了將基板水平支撐而在載置基板的四邊框形狀的基板保持器的開口部以預定間隔架設棒狀的欞條，在各欞條上植設有從背面支撐基板的銷部件。

此時，如果欞條的數量較多則欞條會在透射觀察基板時成為障礙，因此只安裝所需最小限度的根數。而且，雖然在外觀檢查裝置中安裝有除振器，但即使采用這種結構，也無法抑制由于外觀檢查裝置所具備的電動機及其他周圍設備等的影響而使得大型基板微小振動或者撓曲。

在宏觀觀察基板的情況下，由于目視觀察，所以即使基板產生微小振動，給觀察帶來的不良影響也很少。但是在進行微觀觀察的情況下，由于在監視器屏幕上放大觀察基板，所以即使是微小的振動也可以識別，因而存在給觀察帶來妨礙的缺點。

為了改善這種問題，例如提出了日本特開2000-7146號公報和日本特開2004-281907號公報中所述的基板保持裝置。在日本特開2000-7146號公報所述的外觀檢查裝置的基板保持裝置中，將對載置基板用的基板保持器的開口部下部進行封閉的剛性高的板狀的透明平板固定，在透明平板的上表面立設多個銷，由此支撐基板。

而且，在日本特開2004-281907號公報所述的基板保持裝置中，在并列設置并架設于基板保持器的開口部的多個欞條上，在相鄰的欞條之間和欞條與基板保持器的框狀部之間呈直線狀配置棒狀的振動吸收部件，由此支撐基板。

但是，在日本特開2000-7146號公報所述的基板保持裝置中，當在宏觀檢查中對基板表面進行落射照明或者從基板背面進行透射照明來觀察時，不僅在基板上，而且在透明平板上也會使照明光反射或者漫反射，所以存在給基板的檢查帶來妨礙的不良情況。并且，在日本特開2004-281907號公報所述的基板保持裝置中，為了抑制振動，除了設置對銷進行支撐的欞條之外還設置有振動吸收部件，所以會產生遮斷宏觀檢查中的透射光的范圍增大的缺點。

而且，由于在規格上要求宏觀檢查中將基板反轉180度來檢查基板背面，所以具有在基板的背面檢查時，欞條和振動吸收部件妨礙目視檢查的缺點。

發明內容

本發明鑒于上述情況，其目的在于提供一種抑制微觀檢查中基板的振動并且不會妨礙透射照明檢查和背面檢查的基板保持裝置。

對于本發明的外觀檢查裝置的基板保持裝置，所述外觀檢查裝置將基板載置于框狀的載物臺上，進行基板的檢查，該基板保持裝置具有：保持基板的背面周緣部的框上的載物臺；在載物臺的開口部內支撐基板的背面的支撐部件；以及進退單元，其使支撐部件選擇地獲取支撐基板的支撐位置和從基板退避的退避位置。

根據本發明，由于在宏觀檢查基板時支撐部件從基板退避開，因而不會妨礙觀察，而且由于在進行微觀檢查時用支撐部件來支撐基板，所以可以在抑制了基板因周圍的設備等的影響而振動或者撓曲的狀態下進行放大觀察。

而且，還可以形成為，進退單元具有：保持支撐部件的保持部件；以及使保持部件相對于基板移動的動作部件，通過動作部件使保持部件相對于基板進退。

在宏觀觀察時，通過使支撐部件和保持部件離開基板而重疊在載物臺的框狀部上，從而可以不遮蔽基板整體地進行觀察，在微觀觀察時通過動作部件將保持部件搬運到基板上，從而可以用支撐部件支撐基板。

而且，優選該基板保持裝置還具有：放大檢查部，其在微觀檢查時為了放大觀察基板的局部區域而相對于基板移動；以及控制單元，其使隔著基板配設在放大檢查部的相反側的支撐部件與放大檢查部的移動聯動地移動到與放大檢查部對應的位置。