[發明專利]外觀檢查用基板保持裝置

無效

• 申請號: 200710149202.2
• 申請日: 2007-09-06
• 公開（公告）號: CN101140245A
• 公開（公告）日: 2008-03-12
• 發明（設計）人: 岡平裕幸
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

1.一種外觀檢查裝置的基板保持裝置，該外觀檢查裝置將基板載置于框狀的載物臺上，進行基板的檢查，其特征在于，

該基板保持裝置具有：保持基板的背面周緣部的框上的載物臺；在載物臺的開口部內支撐基板的背面的支撐部件；以及進退單元，其使支撐部件選擇地獲取支撐基板的支撐位置和從基板退避的退避位置。

2.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置的基板保持裝置，其特征在于，

進退單元具有：保持支撐部件的保持部件；以及使保持部件相對于基板移動的動作部件，通過動作部件使保持部件相對于基板進退。

3.根據權利要求1或2所述的外觀檢查裝置的基板保持裝置，其特征在于，

該基板保持裝置還具有：放大檢查部，其在微觀檢查時為了放大觀察基板的局部區域而相對于基板移動；以及控制單元，其使隔著基板配設在放大檢查部的相反側的支撐部件與放大檢查部的移動聯動地移動到與放大檢查部對應的位置。

4.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置的基板保持裝置，其特征在于，

支撐部件是用于使支撐基板的銷部件進行出沒動作的致動器。

5.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置的基板保持裝置，其特征在于，

進退單元是設置在架設于開口部的欞條上、使支撐部件相對于欞條在支撐位置和退避到欞條的背面側的退避位置之間轉動的轉動機構。

6.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置的基板保持裝置，其特征在于，

進退單元是設置于可在開口部內移動的保持部件上、使支撐部件相對于保持部件在支撐位置和退避到下方的退避位置之間出沒的出沒機構。

7.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置的基板保持裝置，其特征在于，

支撐部件在設置于基板上的缺陷位置或者接近缺陷的位置從背面支撐基板。