[發明專利]快閃存儲器

無效

• 申請號: 200710148801.2
• 申請日: 2007-09-03
• 公開（公告）號: CN101383350A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 黃信斌;蕭清南;黃仲麟
• 申請（專利權）人: 南亞科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/115
• 分類號: H01L27/115
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波

1.一種快閃存儲器，包含:

基底；

包含多個儲存晶體管的存儲器單元串，設于該基底上，其中該等儲存晶體管分別具有第一柵極長度；

包含第二柵極長度的第一選擇柵極晶體管，串接于該存儲器單元串；以及

包含第三柵極長度的第二選擇柵極晶體管，串接于該第一選擇柵極晶體管，其中該第一選擇柵極晶體管及該第二選擇柵極晶體管之一包含有凹入式柵極溝道。

2.如權利要求1所述的快閃存儲器，其中該存儲器單元串包含多個雙位儲存晶體管。

3.如權利要求1所述的快閃存儲器，其中該第一柵極長度、第二柵極長度以及第三柵極長度相等。

4.一種快閃存儲器，包含:

基底；

第一有源區域，位于該基底內，其中該第一有源區域上設有串接在同一行上的第一存儲器單元串包含多個第一儲存晶體管、第一選擇柵極晶體管包含第一柵極長度以及第二選擇柵極晶體管包含第二柵極長度，其中，該第一選擇柵極晶體管包含第一水平式柵極溝道，該第二選擇柵極晶體管包含第一凹入式柵極溝道，其中，該等儲存晶體管分別具有第三柵極長度；以及

第二有源區域，位于該基底內，其中該第二有源區域上設有串接在同一行上的第二存儲器單元串包含多個第二儲存晶體管、第三選擇柵極晶體管包含第四柵極長度以及第四選擇柵極晶體管包含第五柵極長度，其中，該第三選擇柵極晶體管包含第二凹入式柵極溝道，該第四選擇柵極晶體管包含第二水平式柵極溝道，其中，該等儲存晶體管分別具有第六柵極長度，

其中，該第一選擇柵極晶體管和該第三選擇柵極晶體管排列在同一列上，而該第二選擇柵極晶體管和該第四選擇柵極晶體管排列在同一列上。

5.如權利要求4所述的快閃存儲器，其中該第一選擇柵極晶體管緊鄰該第三選擇柵極晶體管。

6.如權利要求4所述的快閃存儲器，其中該第二選擇柵極晶體管緊鄰該第四選擇柵極晶體管。

7.如權利要求4所述的快閃存儲器，其中該第一存儲器單元串包含多個第一雙位儲存晶體管單元。

8.如權利要求4所述的快閃存儲器，其中該第二存儲器單元串包含多個第二雙位儲存晶體管單元。

9.如權利要求4所述的快閃存儲器，其中該第四柵極長度、第五柵極長度以及第六柵極長度相等。

10.如權利要求4所述的快閃存儲器，其中該第一柵極長度、第二柵極長度以及第三柵極長度相等。