[發明專利]靜電夾盤、使用該夾盤的基板處理設備及基板處理方法

無效

• 申請號: 200710147985.0
• 申請日: 2007-08-30
• 公開（公告）號: CN101136351A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 孫亨圭
• 申請（專利權）人: 愛德牌工程有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

技術領域

本公開涉及一種靜電夾盤，其中該夾盤上的靜電荷可被快速消除。

背景技術

基板處理設備通常用于用來形成半導體晶片和液晶顯示器的各種工藝中。這些處理步驟可以包括蝕刻步驟、沉積步驟等。傳統的基板處理設備通常包括：室，其中可以形成真空狀態；基座，具有能夠支撐室內的基板的支撐表面；氣體供應線，用來向室內供應處理氣體；電場發生器，用于在室內產生電場，以便通過放電而從處理氣體中獲得等離子體；以及排氣單元，用于在完成處理步驟之后清除殘留在室內的處理氣體。

圖1是示出了傳統基板處理設備1的截面圖。該設備包括室10，該室內可以形成真空環境，以便在基板處理設備內部獲得等離子體。室10內的基板支撐件20支撐待處理的基板S。基板支撐件20安裝在室10內的下部處，并且具有能夠支撐待處理基板S的支撐表面。當產生等離子體時，基板支撐件20還用作下部電極。

氣體供應線(未示出)用來向室10的內部供應處理氣體，該處理氣體用來產生用于進行各種處理步驟的等離子體。通常，氣體供應線設置在室10的上部中，從而從室的上部供應處理氣體。還可以使用各種擴散件以便在室10內均勻地供應處理氣體。

電場發生器產生用于從由氣體供應線所供應的處理氣體中獲得等離子體所需要的電場。電場發生器通常具有設置在產生電場的空間的上側和下側處的電極。這些電極中的至少一個被施加有高頻電，以產生電場。通常，板支撐件20用作下部電極，而上部電極30安裝在室10的上部處。

排氣單元用于當處理氣體已在處理步驟中使用過之后將其從室10內清除。使用后的處理氣體應當被完全清除，以避免影響下一處理步驟。因此，對于排氣單元來說，將處理氣體完全排出是很重要的。

基板處理設備1進一步包括基板支撐件20上的靜電夾盤22，如圖2所示。靜電夾盤22用來將基板S牢固地保持于基板支撐件20。靜電夾盤22構造成使得電極24被介電或電絕緣件26包圍，如圖2所示。介電件26通常由具有極好的等離子阻抗的陶瓷制成。用于向電極24施加直流(DC)電力的供電線28連接于電極24的中心。供電線28連接于安裝在室外部的DC發電機29。所施加的電力產生將基板S保持于支撐件20上的靜電力。

在類似于圖2所示的靜電夾盤中，即使在切斷DC電力之后，靜電夾盤22上也可能殘留有殘余電荷。殘留在電極中的電荷與玻璃基板產生殘余靜電力，該殘余靜電力趨向于保持基板S。當有人試圖將基板S從夾盤上移除時，該力可以導致基板破裂。

發明內容

提出本發明以便解決現有技術的上述問題，并且因此，本發明提供一種靜電夾盤，該靜電夾盤有助于確保其電極上的任何殘余電荷被快速消除，從而方便將基板從靜電夾盤上移除。

根據本發明的一個方面，提供了一種靜電夾盤，該靜電夾盤包括：電極；DC電源，向電極施加DC電力，以產生靜電保持力；以及AC電源，當DC電源被切斷時向電極施加AC電力，以中和殘留在電極上的殘余電荷。

根據本發明的另一方面，提供了一種基板處理設備，該設備包括：基板處理室；靜電夾盤，安裝于基板處理室內；DC電源，向靜電夾盤的電極施加DC電力，以產生靜電保持力；以及AC電源，當DC電源被切斷時向電極施加AC電力，以便中和殘留在電極上的殘余電荷。

根據本發明的又另一方面，提供了一種處理設置在靜電夾盤上的基板的方法，該方法包括：向靜電夾盤的電極施加DC電力，以產生將基板保持在夾盤上的靜電保持力；在基板上進行處理步驟；當要將基板從夾盤上移除時，切斷DC電力；以及在切斷DC電力之后，向電極施加AC電力，以中和殘留在夾盤上的殘余電荷。

本發明的上述和其它方面及優點將在下面的描述中部分地闡述，并且通過該描述而部分地變得顯而易見，或者可以通過實施本發明而獲知。

附圖說明

下面將參照附圖詳細描述實施例，附圖中，相同參考標號表示相同元件，并且附圖中：

圖1是示出了傳統基板處理設備的側視圖；

圖2是示出了傳統靜電夾盤的側視圖；

圖3是示出了改進后的靜電夾盤的第一實施例的側視圖；

圖4是示出了施加于圖3所示靜電夾盤的電力幅度(amplitude)的曲線圖；

圖5是示出了具有圖3所示靜電夾盤的基板處理設備的側視圖；以及

圖6是示出了處理基板的方法的流程圖。

具體實施方式

下面，將參照附圖詳細描述根據本發明的優選實施例。在整個附圖中，相同參考標號用來表示相同元件。

如圖3所示，根據本發明實施例的靜電夾盤122包括電極124、介電件126、DC電源127，以及AC電源129。