[發(fā)明專利]靜電夾盤、使用該夾盤的基板處理設(shè)備及基板處理方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710147985.0
• 申請(qǐng)日: 2007-08-30
• 公開（公告）號(hào): CN101136351A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫亨圭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛德牌工程有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

1.一種靜電夾盤，包括：

電極；

DC電源，向所述電極施加DC電力，以產(chǎn)生靜電保持力；

以及

AC電源，當(dāng)所述DC電源被切斷時(shí)向所述電極施加AC電力，以中和殘留在所述電極上的殘余電荷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾盤，其中，所述AC電源是AC電壓電源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾盤，其中，所述AC電源是脈沖發(fā)生器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾盤，進(jìn)一步包括檢測(cè)所述電極上的電荷的傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾盤，進(jìn)一步包括檢測(cè)所述電極的電壓的電壓傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的夾盤，其中，所述電壓傳感器被接地。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的夾盤，進(jìn)一步包括設(shè)置在所述電壓傳感器與地之間的開關(guān)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾盤，進(jìn)一步包括將所述電極連接于所述DC電源和所述AC電源的開關(guān)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾盤，進(jìn)一步包括將所述電極連接于所述DC電源和所述AC電源的開關(guān)。

10.一種基板處理設(shè)備，包括：

基板處理室；

靜電夾盤，安裝于所述基板處理室內(nèi)；

DC電源，向所述靜電夾盤的電極施加DC電力，以產(chǎn)生靜電保持力；以及

AC電源，當(dāng)所述DC電源被切斷時(shí)向所述電極施加AC電力，以便中和殘留在所述電極上的殘余電荷。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中，所述AC電源是AC電壓電源。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中，所述AC電源是脈沖發(fā)生器。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，進(jìn)一步包括用于檢測(cè)所述電極上的電荷的傳感器。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其中，所述傳感器包括電壓傳感器。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其中，所述傳感器被接地。

16.一種處理設(shè)置在靜電夾盤上的基板的方法，所述方法包括：

向所述靜電夾盤的電極施加DC電力，以產(chǎn)生將所述基板保持在所述夾盤上的靜電保持力；

在所述基板上進(jìn)行處理步驟；

當(dāng)要將所述基板從所述夾盤上移除時(shí)，切斷所述DC電力；以及

在切斷所述DC電力之后，向所述電極施加AC電力，以中和殘留在所述夾盤上的殘余電荷。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，進(jìn)一步包括在切斷所述DC電力之后并在供應(yīng)所述AC電力之前將所述電極接地。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，進(jìn)一步包括在所述電極接地之后檢測(cè)所述電極上的殘余電荷，并且其中，向所述電極供應(yīng)AC電力的所述步驟包括僅施加用于中和在所述檢測(cè)步驟期間檢測(cè)到的所述電荷而需要的所述AC電力。

19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，進(jìn)一步包括在切斷所述DC電力之后檢測(cè)所述電極上的電荷。

20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，向所述電極施加AC電力的所述步驟包括僅施加用于中和在所述檢測(cè)步驟期間檢測(cè)到的所述電荷而需要的所述AC電力。

21.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，向所述電極供應(yīng)AC電力的所述步驟包括：

最初時(shí)施加具有與所述DC電壓相同的極性和幅度的AC電壓；以及

將所述AC電壓的所述幅度快速減少至零。