[發明專利]流體輸送裝置的制造方法

有效

• 申請號: 200710147254.6
• 申請日: 2007-08-30
• 公開（公告）號: CN101377191A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 陳世昌;鄭江河;余榮侯;蔡志宏;邱士哲
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/02
• 分類號: F04B43/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 任永武

技術領域

本發明是關于一種流體輸送裝置的制造方法，尤指一種適用于微泵結構的流體 輸送裝置的制造方法。

背景技術

目前于各領域中無論是醫藥、計算機科技、打印、能源等工業，產品均朝精致 化及微小化方向發展，其中微泵、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等產品所包含的 流體輸送結構為其關鍵技術，因此，如何借助創新結構突破其技術瓶頸，為發展的 重要內容。

請參閱圖1(a)，其為已知微泵結構于未作動時的結構示意圖，已知微泵結構 10包含入口通道13、微致動器15、傳動塊14、隔層膜12、壓縮室111、基板11 以及出口通道16，其中基板11與隔層膜12間形成一壓縮室111，主要用來儲存液 體，將因隔層膜12的形變影響而使得壓縮室111的體積受到改變。

當一電壓作用在微致動器15的上下兩極時，會產生一電場，使得微致動器15 在此電場的作用下產生彎曲而向隔層膜12及壓縮室111方向移動，由于微致動器 15設置于傳動塊14上，因此傳動塊14能將微致動器15所產生的推力傳遞至隔層 膜12，使得隔層膜12也跟著被擠壓變形，即如圖1(b)所示，液體即可依圖中箭號 X的方向流動，使由入口通道13流入后儲存于壓縮室111內的液體受擠壓，而經 由出口通道16流向其它預先設定的空間，以達到供給流體的目的。

請再參閱圖2，其為圖1(a)所示的微泵結構的俯視圖，如圖所示，當微泵結構 10作動時流體的輸送方向是如圖中標號Y的箭頭方向所示，入口擴流器17為兩端 開口大小不同的錐狀結構，開口較大的一端是與入口流道191相連接，而以開口較 小的一端與微壓縮室111連接，同時，連接壓縮室111及出口流道192的擴流器 18是與入口擴流器17同向設置，其是以開口較大的一端連接于壓縮室111，而以 開口較小的一端與出口流道192相連接，由于連接于壓縮室111兩端的入口擴流器 17及出口擴流器18為同方向設置，故可利用擴流器兩方向流阻不同的特性，及壓 縮室111體積的漲縮使流體產生單方向的凈流率，以使流體可自入口流道191經由 入口擴流器17流入壓縮室111內，再由出口擴流器18經出口流道192流出。

此種無實體閥門的微泵結構10容易產生流體大量回流的狀況，所以為促使流 率增加，壓縮室111需要有較大的壓縮比，以產生足夠的腔壓，故需要耗費較高的 成本在致動器15上。

因此，如何發展一種可改善上述已知技術缺失的流體輸送裝置，實為目前迫切 需要解決的問題。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種流體輸送裝置的制造方法，主要依序形成閥體 層、閥體蓋層、可撓薄膜、致動薄膜及致動片，且使可撓薄膜相對應設置于閥體層 及閥體蓋層之間，并將致動薄膜及致動片相互對應貼合，通過致動片作動時帶動致 動薄膜產生形變，使介于致動薄膜及閥體蓋層間的壓力腔室體積改變，以產生正負 的壓力差，同時，由于可撓薄膜上的閥片結構的迅速反應，使得壓力腔室于漲縮的 瞬間可產生較大的流體吸力與推力，故可使流體達到高效率的傳輸，并可有效阻擋 流體的逆流，以解決已知技術的微泵結構于流體傳送過程中易產生流體回流的現 象。

為達上述目的，本發明的較廣義實施態樣為提供一種流體輸送裝置的制造方 法，其包含下列步驟：形成閥體層；于該閥體層上對應形成閥體蓋層，其具有壓力 腔室；分別于該閥體層及該閥體蓋層上形成一微凸結構；形成可撓薄膜，其具有至 少一個閥片結構；形成致動薄膜；形成致動器，并將致動器貼附定位于致動薄膜上， 以形成致動裝置；將可撓薄膜設置于閥體層及閥體蓋層之間，且將閥體層、可撓薄 膜與閥體蓋層相互組裝定位，使該可撓薄膜的該閥片結構分別與該閥體層及該閥體 蓋層上的該微凸結構相抵觸，且施予一預作用力，并使該閥片結構與該閥體層的表 平面間形成一間隔，及該閥片結構與該閥體蓋層的表平面間形成一間隙；以及將致 動裝置設置于閥體蓋層上，以使致動薄膜封閉閥體蓋層的壓力腔室，以形成流體輸 送裝置。

附圖說明

圖1(a)為已知微泵結構于未作動時的結構示意圖。

圖1(b)為圖1(a)于作動時的結構示意圖。

圖2為圖1(a)所示的微泵結構的俯視圖。

圖3為本發明第一較佳實施例的流體輸送裝置的結構示意圖。

圖4為圖3所示的閥體座側面結構示意圖。