[發(fā)明專利]流體輸送裝置的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710147254.6
• 申請(qǐng)日: 2007-08-30
• 公開（公告）號(hào): CN101377191A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳世昌;鄭江河;余榮侯;蔡志宏;邱士哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號(hào): F04B43/02
• 分類號(hào): F04B43/02
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 任永武

1.一種流體輸送裝置制造方法，其特征在于包含下列步驟：

形成一閥體層；

于該閥體層上對(duì)應(yīng)形成一閥體蓋層，該閥體蓋層具有一壓力腔室；

分別于該閥體層及該閥體蓋層上形成一微凸結(jié)構(gòu)；

形成一可撓薄膜，其具有至少一個(gè)閥片結(jié)構(gòu)；

形成一致動(dòng)薄膜；

形成一致動(dòng)器，并將該致動(dòng)器貼附定位于該致動(dòng)薄膜上，以形成一致動(dòng)裝置；

將該可撓薄膜設(shè)置于該閥體層及該閥體蓋層之間，且將該閥體層、該可撓薄膜 與該閥體蓋層相互組裝定位，使該可撓薄膜的該閥片結(jié)構(gòu)分別與該閥體層及該閥體 蓋層上的該微凸結(jié)構(gòu)相抵觸，且施予一預(yù)作用力，并使該閥片結(jié)構(gòu)與該閥體層的表 平面間形成一間隔，及該閥片結(jié)構(gòu)與該閥體蓋層的表平面間形成一間隙；以及

將該致動(dòng)裝置設(shè)置于該閥體蓋層上，以使該致動(dòng)薄膜封閉該閥體蓋層的該壓力 腔室，以形成一流體輸送裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該閥體層及該 閥體蓋層是以熱塑性塑料材料射出而形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該微凸結(jié)構(gòu)的 形成是于該閥體層及該閥體蓋層形成多個(gè)凹槽，且分別于該多個(gè)凹槽內(nèi)設(shè)置一密封 環(huán)，并使該密封環(huán)部份突出于該凹槽，以形成該微凸結(jié)構(gòu)，用以施一預(yù)作用力于該 可撓薄膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該密封環(huán)的材 質(zhì)為耐化性佳的橡膠材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該微凸結(jié)構(gòu)是 直接采用半導(dǎo)體工藝形成于閥體層及閥體蓋層上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該半導(dǎo)體工藝 為光刻或鍍膜或電鑄技術(shù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜的 厚度為10μm至50μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜的 厚度為21μm至40μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜的 材質(zhì)為耐化性佳的有機(jī)高分子材料，且其彈性模數(shù)為2GPa～20GPa。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜 的材質(zhì)為聚亞酰胺。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜 是利用反應(yīng)離子氣體干蝕刻方法制出。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜 的材質(zhì)為金屬材料，且其彈性模數(shù)為2GPa至240GPa。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜 的材質(zhì)為不銹鋼材料，且其是以光刻或機(jī)械加工進(jìn)行制出該閥片結(jié)構(gòu)。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該可撓薄膜 的材質(zhì)為鎳金屬，其是以電鑄成形方法及光刻方法制出該閥片結(jié)構(gòu)。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該致動(dòng)薄膜 的厚度為10μm至300μm。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該致動(dòng)薄膜 的厚度為100μm至250μm。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該致動(dòng)薄膜 為單層金屬結(jié)構(gòu)。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該致動(dòng)薄膜 為雙層結(jié)構(gòu)，由金屬材料與高分子材料貼附而成。

19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該致動(dòng)器為 一壓電板。

20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體輸送裝置的制造方法，其特征在于該致動(dòng)器的 厚度為100μm至500μm。