[發明專利]流體輸送裝置

有效

• 申請號: 200710147239.1
• 申請日: 2007-08-30
• 公開（公告）號: CN101377192A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 陳世昌;鄭江河;余榮侯;蔡志宏;邱士哲
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳亮

技術領域

本發明涉及一種流體輸送裝置，尤其涉及一種適用于微泵結構的流體輸送裝 置。

背景技術

目前于各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等工業，產品均朝精致 化及微小化方向發展，其中微泵、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等產品所包含的 流體輸送結構為其關鍵技術，是以，如何藉創新結構突破其技術瓶頸，為發展的重 要內容。

請參閱圖1a，其為已知微泵結構于未作動時的結構示意圖，已知微泵結構10 包含入口通道13、微致動器15、傳動塊14、隔層膜12、壓縮室111、基板11以 及出口通道16，其中基板11與隔層膜12間定義形成一壓縮室111，主要用來儲存 液體，將因隔層膜12的形變影響而使得壓縮室111的體積受到改變。

當一電壓作用在微致動器15的上下兩極時，會產生一電場，使得微致動器15 在此電場的作用下產生彎曲而向隔層膜12及壓縮室111方向移動，由于微致動器 15設置于傳動塊14上，因此傳動塊14能將微致動器15所產生的推力傳遞至隔層 膜12，使得隔層膜12也跟著被擠壓變形，即如圖1b所示，液體即可依圖中箭號X 的方向流動，使由入口通道13流入后儲存于壓縮室111內的液體受擠壓，而經由 出口通道16流向其他預先設定的空間，以達到供給流體的目的。

請再參閱圖2，其為圖1a所示的微泵結構的俯視圖，如圖所示，當微泵結構 10作動時流體的輸送方向如圖中標號Y的箭頭方向所示，入口擴流器17為兩端開 口大小不同的錐狀結構，開口較大的一端與入口流道191相連接，而以開口較小的 一端與微壓縮室111連接，同時，連接壓縮室111及出口流道192的擴流器18與 入口擴流器17同向設置，其以開口較大的一端連接于壓縮室111，而以開口較小 的一端與出口流道192相連接，由于連接于壓縮室111兩端的入口擴流器17及出 口擴流器18為同方向設置，故可利用擴流器兩方向流阻不同的特性，及壓縮室111 體積的漲縮使流體產生單方向的凈流率，以使流體可自入口流道191經由入口擴流 器17流入壓縮室111內，再由出口擴流器18經出口流道192流出。

此種無實體閥門的微泵結構10容易產生流體大量回流的狀況，所以為促使流 率增加，壓縮室111需要有較大的壓縮比，以產生足夠的腔壓，故需要耗費較高的 成本在致動器15上。

因此，如何發展一種可改善上述已知技術缺失的流體輸送裝置，實為目前迫 切需要解決的問題。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種流體輸送裝置，主要由閥體座、閥體薄膜、 閥體蓋體、振動薄膜及致動器堆迭而成，其藉由致動器作動時帶動振動薄膜產生形 變，使介于振動薄膜及閥體蓋體間的壓力腔室的體積改變，以產生正負的壓力差， 同時，由于閥體薄膜上的閥門結構其開合反應迅速，使得壓力腔室于漲縮的瞬間可 產生較大的流體吸力與推力，故可使流體達到高效率的傳輸，并可有效阻擋流體的 逆流，俾解決已知技術的微泵結構于流體的傳送過程中易產生流體回流的現象。

為達上述目的，本發明的較廣義實施方式為提供一種流體輸送裝置，用以傳 送流體，其包含：閥體座，其具有出口通道及入口通道；閥體蓋體，其設置于閥體 座上；閥體薄膜，其厚度基本上相同，且設置于閥體座及閥體蓋體之間，并具有多 個鏤空閥開關，包含第一閥開關及第二閥開關；多個暫存室，于閥體薄膜與閥體蓋 體之間形成第一暫存室，以及于閥體薄膜與該閥體座之間形成第二暫存室；振動薄 膜，其周邊固設于閥體蓋體，在未作動狀態時，振動薄膜與閥體蓋體分離，以定義 形成壓力腔室；以及致動器，其與振動薄膜連接；其中，當致動器受電壓驅動而造 成彎曲變形時，與致動器連接的振動薄膜將連動而致使壓力腔室體積改變，進而產 生壓力差推動該流體，由該入口通道流經第一閥開關、第一暫存室、壓力腔室、第 二暫存室、第二閥開關后，從出口通道流出。

附圖說明

圖1a為已知微泵結構于未作動時的結構示意圖。

圖1b為圖1a在作動時的結構示意圖。

圖2為圖1a所示的微泵結構的俯視圖。

圖3為本發明第一較佳實施例的流體輸送裝置的結構示意圖。

圖4為圖3所示的閥體座側面結構示意圖。

圖5a為圖3所示的閥體蓋體的背面結構示意圖。

圖5b為圖5a的剖面結構示意圖。

圖6為圖3所示的閥體薄膜結構示意圖。