[發明專利]流體輸送裝置

有效

• 申請號: 200710147239.1
• 申請日: 2007-08-30
• 公開（公告）號: CN101377192A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 陳世昌;鄭江河;余榮侯;蔡志宏;邱士哲
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳亮

1.一種流體輸送裝置，用以傳送一流體，其包含：

一閥體座，其具有一出口通道及一入口通道；

一閥體蓋體，其設置于該閥體座上；

一閥體薄膜，其厚度基本上相同，且設置于該閥體座及該閥體蓋體之間，并 具有多個鏤空閥開關，包含一第一閥開關及一第二閥開關，該第一閥開關及該第二 閥開關分別具有一閥片，該閥片周邊具有多個環繞閥片周邊而設置的鏤空孔洞，在 孔洞之間更具有與閥片相連接的延伸部；

多個暫存室，于該閥體薄膜與該閥體蓋體之間形成一第一暫存室，以及于該 閥體薄膜與該閥體座之間形成一第二暫存室；

一振動薄膜，其周邊固設于該閥體蓋體，在未作動狀態時，該振動薄膜與該 閥體蓋體分離，以定義形成一壓力腔室；以及

一致動器，其與該振動薄膜連接；

其中，該閥體座及該閥體蓋體上具有一微凸結構，用以施一預力于該閥體薄 膜，當該致動器受驅動而造成變形時，與該致動器連接的該振動薄膜將連動而致使 該壓力腔室體積改變，進而產生壓力差推動該流體，由該入口通道流經該第一閥開 關、該第一暫存室、該壓力腔室、該第二暫存室、該第二閥開關后，從該出口通道 流出。

2.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該流體包括氣體及液體。

3.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該微凸結構為復數個密封 環，其分別設置于該閥體座及該閥體蓋體之復數個凹槽內，且該密封環部份突出于 該凹槽，用以施一預力于該閥體薄膜。

4.如權利要求3所述的流體輸送裝置，其特征在于，密封環的材質為橡膠材料。

5.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該閥體薄膜的厚度為10 μm至50μm。

6.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該閥體薄膜的最佳厚度為 21μm至40μm。

7.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該閥體薄膜的材質為高分 子材料，且其彈性模數為2～20GPa。

8.如權利要求7所述的流體輸送裝置，其特征在于，該高分子材料為聚亞酰胺。

9.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該閥體薄膜的材質為金屬 材料，且其彈性模數為2GPa至240GPa。

10.如權利要求9所述的流體輸送裝置，其特征在于，該金屬材料為鋁、鋁合 金、鎳、鎳合金、銅、銅合金或不銹鋼材料。

11.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該致動器為一壓電板， 且其厚度為100μm至500μm。

12.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該致動器的最佳厚度為 150μm至250μm。

13.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該振動薄膜為一單層金 屬結構。

14.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該振動薄膜為一雙層結 構，其由金屬材料與高分子材料貼合而成。

15.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該振動薄膜的厚度為10 μm至300μm。

16.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該振動薄膜的最佳厚度 為100μm至250μm。

17.如權利要求13所述的流體輸送裝置，其特征在于，該振動薄膜為銅金屬， 其厚度為190μm至210μm。

18.如權利要求13所述的流體輸送裝置，其特征在于，該振動薄膜為不銹鋼金 屬，其厚度為140μm至160μm。

19.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該壓力腔室的深度為100 μm至300μm，直徑為10mm至30mm。

20.如權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該閥體座及該閥體蓋體 的材質為熱塑性塑膠材料。