[發明專利]基板檢測機構以及基板收納容器

有效

• 申請號: 200710146611.7
• 申請日: 2007-08-22
• 公開（公告）號: CN101131366A
• 公開（公告）日: 2008-02-27
• 發明（設計）人: 早川升;岡部星兒
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及一種基板檢測機構以及具備這種基板檢測機構的基板收納容器，在利用支承部件支承用于制造以液晶顯示裝置(LCD)為代表的平板顯示器(FPD)的玻璃基板等基板的狀態下對所述基板進行收納的容器中，該基板檢測機構檢測出其中有無基板。

背景技術

在以液晶顯示器(LCD)為代表的平板顯示器(FPD)的制造過程中，使用一種具有多個在真空條件下對玻璃基板實施蝕刻、灰化、成膜等規定處理的真空處理裝置的所謂多腔式的真空處理系統。

上述真空處理系統包括：設置有搬送基板的搬送裝置的搬送室、和在其周圍設置的多個處理腔室，通過搬送室內的搬送臂，被處理基板被搬入各處理腔室內，并且處理完畢的基板從各真空處理裝置的處理腔室中被搬出。搬送室與負載鎖定室(load?lock?room)連接，在搬入搬出大氣一側的基板時，將處理腔室以及搬送室保持為真空狀態不變，可在這種狀態下處理多個基板。這種多腔式的處理系統已經在例如專利文獻1中公開。

在這種處理系統中，在搬送室中，要求在確認基板是否被正常地支承在搬送臂上之后向處理腔室搬送玻璃基板，為此，在搬送室中安裝檢測出有無玻璃基板的傳感器。作為這種基板檢測技術，如專利文獻2和專利文獻3所示，在基板的上方設置光傳感器，接受從光傳感器射出光束時的反射光，然后檢測出有無基板的這種技術已經為大家所知。

【專利文獻1】日本特開平11-340208號公報

【專利文獻2】日本特開平7-183361號公報

【專利文獻3】日本特開平10-64971號公報

在這種技術應用于搬送室中的情況下，在搬送室的頂棚部安裝光傳感器，但是在通常情況下，為了進行維護，搬送室采用頂棚部打開的構造，這樣就有可能難以進行穩定的檢測，光傳感器的位置精度降低。

另一方面，在搬送室中，在與玻璃基板的四角對應的位置設置光傳感器，在檢測出有無玻璃基板的同時也檢測出有無基板的欠缺和支承狀態等，但是被處理的基板的厚度并不一定，由于基板的厚度的差異，在搬送室內支承著玻璃基板時的基板的撓度各異，所以，從光傳感器射出的光在由玻璃基板反射時其反射光的方向發生變化，產生無法正常傳感檢測(sensing)的情況。

發明內容

本發明是鑒于上述有關情況而提案的，其目的在于提供一種能夠穩定并且高精度地檢測出有無被支承部件支承著的基板的基板檢測機構。其目的還在于提供一種即使被支承部件支承著的基板的撓曲量發生變化也能夠可靠并且容易地檢測出有無基板的基板檢測機構。另一目的在于提供一種具備這樣的基板檢測機構的基板收納容器。

為了解決上述課題，在本發明的第一觀點中提供一種基板檢測機構，其檢測在由支承部件支承著基板的狀態下收納基板的容器中有無基板，其特征在于，具有被安裝在上述容器底部的光傳感器，通過接受從該光傳感器射出的光的反射光檢測基板的有無。

在本發明的第二觀點中提供一種基板檢測機構，其檢測在由支承部件支承著基板的狀態下收納基板的容器中有無基板，其特征在于，包括：向容器內射出光并且接受反射光的光傳感器；以及改變上述光傳感器的角度的致動器，利用上述致動器根據被上述支承部件支承著的基板的撓曲量改變上述光傳感器的角度。

在本發明的第三觀點中提供一種基板檢測機構，其檢測以由支承部件支承著基板的狀態收納基板的容器中的基板的有無，其特征在于，包括：向容器內射出光并且接受反射光的光傳感器；改變上述光傳感器的角度的致動器；以及控制部，該控制部根據被上述支承部件支承著的基板的撓曲量控制憑借上述致動器進行的上述光傳感器的角度的改變。

在上述第三觀點中，上述控制部預先存儲有基板的厚度與撓曲量的關系，根據上述關系進行控制以使上述光傳感器成為與被上述支承部件支承的基板相對應的角度。

在上述第二、第三觀點中，可采用上述光傳感器被設置在上述容器的底部的結構。

在上述第一～三觀點中，基板呈矩形形狀，可以采用上述光傳感器被設置在與上述基板的四角對應的位置的結構。上述支承部件可以是基板搬送用的基板支承臂。

在本發明的第四觀點中提供一種基板收納容器，其具備收納基板的容器主體、在上述容器主體內支承基板的支承部件、和檢測被上述支承部件支承著的基板的有無的基板檢測機構，其特征在于，上述基板檢測機構具有被安裝在上述容器主體的底部的光傳感器，通過接受從該光傳感器射出的光的反射光來檢測基板的有無。