[發(fā)明專利]基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及基板收納容器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710146611.7
• 申請(qǐng)日: 2007-08-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101131366A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 早川升;岡部星兒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N21/84
• 分類號(hào): G01N21/84;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/00
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍淳

1.一種基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其檢測(cè)在由支承部件支承著基板的狀態(tài)下收納基板的容器中有無(wú)基板，其特征在于，

具有被安裝在所述容器底部的光傳感器，通過(guò)接受從該光傳感器射出的光的反射光檢測(cè)基板的有無(wú)。

2.一種基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其檢測(cè)在由支承部件支承著基板的狀態(tài)下收納基板的容器中有無(wú)基板，其特征在于，包括：

向容器內(nèi)射出光并且接受反射光的光傳感器；以及

改變所述光傳感器的角度的致動(dòng)器，

利用所述致動(dòng)器根據(jù)被所述支承部件支承著的基板的撓曲量改變所述光傳感器的角度。

3.一種基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其檢測(cè)在由支承部件支承著基板的狀態(tài)下收納基板的容器中有無(wú)基板，其特征在于，包括：

向容器內(nèi)射出光并且接受反射光的光傳感器；

改變所述光傳感器的角度的致動(dòng)器；以及

控制部，該控制部根據(jù)被所述支承部件支承著的基板的撓曲量控制憑借所述致動(dòng)器進(jìn)行的所述光傳感器的角度的改變。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述控制部預(yù)先存儲(chǔ)有基板的厚度與撓曲量的關(guān)系，根據(jù)所述關(guān)系進(jìn)行控制以使所述光傳感器成為與被所述支承部件支承的基板相對(duì)應(yīng)的角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求2～4中任一項(xiàng)所述的基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述光傳感器被設(shè)置在所述容器的底部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

基板呈矩形形狀，所述光傳感器被設(shè)置在與所述基板的四角對(duì)應(yīng)的位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述支承部件是基板搬送用的基板支承臂。

8.一種基板收納容器，其具備收納基板的容器主體、在所述容器主體內(nèi)支承基板的支承部件、和檢測(cè)被所述支承部件支承著的基板的有無(wú)的基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)具有被安裝在所述容器主體的底部的光傳感器，通過(guò)接受從該光傳感器射出的光的反射光來(lái)檢測(cè)基板的有無(wú)。

9.一種基板收納容器，其具備收納基板的容器主體、在所述容器主體內(nèi)支承基板的支承部件、和檢測(cè)被所述支承部件支承著的基板的有無(wú)的基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括：

向容器內(nèi)射出光并且接受反射光的光傳感器；以及

改變所述光傳感器的角度的致動(dòng)器，

利用所述致動(dòng)器根據(jù)被所述支承部件支承著的基板的撓曲量改變所述光傳感器的角度。

10.一種基板收納容器，其具備收納基板的容器主體、在所述容器主體內(nèi)支承基板的支承部件、和檢測(cè)被所述支承部件支承著的基板的有無(wú)的基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述基板檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括：

向容器內(nèi)射出光并且接受反射光的光傳感器；

改變所述光傳感器的角度的致動(dòng)器；以及

控制部，該控制部根據(jù)被所述支承部件支承著的基板的撓曲量控制憑借所述致動(dòng)器進(jìn)行的所述光傳感器的角度的改變。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板收納容器，其特征在于，

所述控制部預(yù)先存儲(chǔ)有基板的厚度與撓曲量的關(guān)系，根據(jù)所述關(guān)系進(jìn)行控制以使所述光傳感器成為與被所述支承部件支承的基板相對(duì)應(yīng)的角度。

12.根據(jù)權(quán)利要求9～11中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，

所述光傳感器被設(shè)在所述容器主體的底部。

13.根據(jù)權(quán)利要求8～11中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，

基板呈矩形形狀，所述光傳感器被設(shè)置在與所述基板的四角對(duì)應(yīng)的位置。

14.根據(jù)權(quán)利要求8～13中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，

還包括設(shè)置在所述容器主體上，連接對(duì)基板實(shí)施規(guī)定處理的處理容器的連接部；以及設(shè)置在所述容器主體內(nèi)，向所述處理容器搬送基板的搬送機(jī)構(gòu)，所述支承部件是所述搬送機(jī)構(gòu)的基板支承臂。