[發(fā)明專利]半導(dǎo)體測試裝置的測試程序生成方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710143845.6
• 申請日: 2007-08-03
• 公開（公告）號: CN101122629A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 菅原洋
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高科技工程服務(wù)
• 主分類號: G01R31/3183
• 分類號: G01R31/3183;G01R31/26
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種測試程序生成方法，使用所述方法可以生成使半導(dǎo)體測試裝置運作的測試程序(test?program)，本發(fā)明尤其涉及一種半導(dǎo)體測試裝置的測試程序生成方法，使用所述方法，即使缺乏半導(dǎo)體測試裝置知識的用戶，也可以容易地生成測試程序。

背景技術(shù)

為了將性能及品質(zhì)得到保證的半導(dǎo)體器件制成成品上市，而必須在制造部門、檢查部門的各工序中抽取半導(dǎo)體器件的全部或一部分，檢查其電特性。半導(dǎo)體測試裝置如下述般檢查電特性，對被測定半導(dǎo)體器件賦予規(guī)定的測試用圖形數(shù)據(jù)，讀取由此而獲得的被測定半導(dǎo)體器件的輸出數(shù)據(jù)，根據(jù)被測定半導(dǎo)體器件的輸出數(shù)據(jù)，針對被測定半導(dǎo)體器件的基本運作及功能是否存在問題，解析不良信息，檢查電特性。

為了進行所述檢查，必須在每一種半導(dǎo)體器件中生成在半導(dǎo)體測試裝置中需要執(zhí)行的測試程序，而且，當半導(dǎo)體測試裝置不同時，必須對每一種所述機型生成測試程序。通常，測試程序包含作為測試對象的半導(dǎo)體器件的引腳分組信息、及測試項目的處理順序等。

作為如上所述用以生成測試程序的裝置，眾所周知的是如日本專利特開平10-48300號公報所示的測試程序創(chuàng)建方式。所述測試程序創(chuàng)建方式是通過輸入半導(dǎo)體器件的個別數(shù)據(jù)，而將測試對象引腳的分組或其他半導(dǎo)體器件個別信息放入測試程序的表格(form)中，創(chuàng)建半導(dǎo)體器件的個別測試程序。

而且，如日本專利特開2000-187064號公報所示的測試組創(chuàng)建裝置及其創(chuàng)建系統(tǒng)也為眾所周知。所述測試組創(chuàng)建裝置及其創(chuàng)建系統(tǒng)涉及半導(dǎo)體器件的測試對象引腳的分組方法，預(yù)先定義好引腳的分組條件，使之與更復(fù)雜的條件、即半導(dǎo)體器件復(fù)雜化且引腳數(shù)增加之類條件相對應(yīng)，準確無誤地短時間內(nèi)創(chuàng)建測試組。

所述背景技術(shù)的情況存在如下問題，測試項目也與半導(dǎo)體器件同樣變得復(fù)雜化，所述測試項目在每一個半導(dǎo)體器件中都不相同時，則必須在每一個半導(dǎo)體器件中創(chuàng)建測試程序，因此需要花費勞力和時間進行創(chuàng)建。而且，已生成的測試程序需要通過人力進行調(diào)整、更改，因此，用戶必須具有關(guān)于各半導(dǎo)體裝置的高度專業(yè)知識。進而，先前由于可以通過人力進行調(diào)整、更改，因此，在進行程序更改、修訂時，可能會混入人為錯誤，而且，由于通過人力進行更改、修訂，測試規(guī)格與測試程序的關(guān)系變得無法以1對1進行對應(yīng)。為了在所述狀態(tài)下使測試規(guī)格與測試程序的關(guān)系相對應(yīng)，則必須從測試程序向測試規(guī)格進行反向變換，當沒有反向變換的構(gòu)造時，更改已生成的程序后，則將無法返回測試規(guī)格。進而，存在如下問題，即，在創(chuàng)建測試程序時存在個人情況差別，因此，在對他人所創(chuàng)建的測試程序進行實施或解析等時，則需要耗費很多時間。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種測試程序生成方法，使用所述方法，即使缺乏半導(dǎo)體測試裝置知識的用戶，也可以容易地生成測試程序，且可以容易地進行測試程序的更改、校正。

本發(fā)明的測試程序生成方法的第1特征是，所述方法是生成使半導(dǎo)體測試裝置運作的測試程序的測試程序生成方法，在每個測試項目中具備多個包含用以輸入測試條件的格式(format)的表格計算軟件(spreadsheet)的表格，在生成所述測試程序時，從所述多個表格中選擇規(guī)定的表格，將規(guī)定的設(shè)定條件輸入到所選擇的表格的格式中，執(zhí)行所述表格計算軟件的宏程序(macro?program)，由此，生成所述規(guī)定的測試程序。

所述方法中，利用通常習(xí)慣使用的應(yīng)用軟件(application?software)之一的表格計算軟件的微程序(microprogram)，創(chuàng)建測試程序，由此，即使缺乏半導(dǎo)體測試裝置知識的用戶，也可以容易地生成測試程序。而且，當進行測試程序的更改、校正時，僅對各表格的設(shè)定條件進行更改、校正即可，因此，可以容易地進行測試程序的更改、校正。

本發(fā)明的測試程序生成方法的第2特征如所述第1特征所述的測試程序生成方法，其中，根據(jù)預(yù)先已準備的基本表格來創(chuàng)建所述多個表格。所述方法中，根據(jù)基本表格來生成與各測試項目對應(yīng)的各表格的構(gòu)成，因此，僅對所述基本表格加以理解，即可容易地對其他測試項目的構(gòu)成加深理解。

本發(fā)明的測試程序生成方法的第3特征如所述第1特征所述的測試程序生成方法，其中，使用MICROSOFTEXCEL作為所述表格計算軟件。所述方法中，使用利用最多的MICROSOFT?EXCEL作為表格計算軟件。