[發明專利]半導體測試裝置的測試程序生成方法

無效

• 申請號: 200710143845.6
• 申請日: 2007-08-03
• 公開（公告）號: CN101122629A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 菅原洋
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高科技工程服務
• 主分類號: G01R31/3183
• 分類號: G01R31/3183;G01R31/26
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種測試程序生成方法，生成用以使半導體測試裝置運作的測試程序，且所述測試程序生成方法包括如下步驟：

啟動表格計算軟件的步驟，其啟動具備多個表格的表格計算軟件，該表格是由用以輸入測試條件的規定格式所構成，每一測試項目具備有表格；

從已通過所述步驟啟動的所述表格計算軟件的所述多個表格中，選擇生成所述測試程序時所必須的表格的步驟；

將規定的設定條件輸入到已通過所述步驟選擇的表格的格式中的步驟；

執行所述表格計算軟件的宏程序的步驟；以及

對應于所述宏程序的執行，生成用以使所述半導體測試裝置運作的測試程序的步驟。

2.如權利要求1所述的測試程序生成方法，其特征在于，根據已預先準備的基本表格來創建所述多個表格。

3.如權利要求1所述的測試程序生成方法，其特征在于，使用MICROSOFTEXCEL^作為所述表格計算軟件。

4.如權利要求1所述的測試程序生成方法，其特征在于，通過執行所述宏程序而生成的測試程序顯示在所述表格計算軟件中另外的表格中。

5.如權利要求1所述的測試程序生成方法，其特征在于，所述規定格式構成的表格包括以下設定項目：

第1電源設定部及第2電源設定部，包括電源設定部、施加條件設定部、以及模式設定部，所述電源設定部輸入引腳名，所述施加條件設定部以單位伏特輸入電壓的設定條件，所述模式設定部選擇性地設定vfim或ifvm模式；

測試速率設定部，包括輸入條件設定部、以及單位設定部，所述輸入條件設定部輸入與各速率rt1～rt6對應的值，所述單位設定部設定測試速率的單位為奈秒、微秒、毫秒；

繼電器設定部，包括負載繼電器編號項目的接通/斷開設定部；

輸入引腳電壓設定部，包括輸入引腳設定部、VCC標志設定部、conn設定部、fmask設定部、fmt設定部、以及iofmt設定部，所述輸入引腳設定部設定引腳名，所述VCC標志設定部設定各端子的電源模式為IOVCC、VCC、VDD，所述conn設定部設定各端子的連接對象為fc、open、svi、pmu，所述fmask設定部設定故障屏蔽為dsb、enb，所述fmt設定部設定波形格式為nrz、rl、rz、fixh、fixl、sbc，所述iofmt設定部設定IO格式為input、output、nrz；

輸入引腳時序設定部，包括設定第1到第6為止的各時序tt1～tt6的單位的項目；

LCD設定部，包括rng設定部、lcdrly設定部、vt伏特設定部、以及ioh微安培設定部及iol微安培設定部，所述rng設定部設定off、lv、hv作為LCD引腳的范圍，所述lcdrly設定部設定LCD引腳的輸出繼電器的接通、斷開，所述vt伏特設定部將LCD引腳的VT設定為單位伏特，所述ioh微安培設定部及iol微安培設定部將LCD引腳的電流值設定為單位微安培；

lodstrb設定部，設定與第1至第6為止的各時序tt1～tt6對應的LCD引腳的選通脈沖；

輸出引腳設定部，包括LCD引腳設定部、conn設定部、fmask設定部、以及voh伏特設定部及vol伏特設定部，所述LCD引腳設定部設定以DDF文件定義的引腳名，所述conn設定部設定open、ald、pmu作為各端子的連接對象，所述fmask設定部設定dsb、enb作為故障屏蔽，所述voh伏特設定部及vol伏特設定部將電壓值設定為單位伏特；

IOVCC倍率設定部，設定VIH1、VIL1、VOH1、VOL1、VT1的各DC特性中的倍率；

VCC倍率設定部，設定VIH2、VIL2、VOH2、VOL2、VT2的各DC特性中的倍率；以及

VDD設定部，設定VIH3、VIL3、VOH3、VOL3、VT3的各DC特性中的倍率。

6.如權利要求5所述的測試程序生成方法，其特征在于，所述規定格式構成的表格更包括以下設定項目：

圖形設定部，包括設定測試編號的測試編號設定部、設定使用圖形名的使用圖形設定部、設定記述在使用圖形中的開始標記的開始設定部、設定記述在使用圖形中的停止標記的停止設定部、設定seq/para中的任一個作為使用圖形的運行模式的運行模式設定部、以及設定與測試圖形條件表對應的編號的測試圖形條件設定部；

電源序列設定部，包括以單位毫秒設定sr序列時間的時間設定部、設定端子名的uvi設定部、rvi設定部、pin設定部、以及與LCD部有關的設定lcd的LCD設定部的各設定項目；

測試圖形條件表，設定與各測試相應的條件內容，該條件內容包含條件編號、測試編號、圖形名；以及

來歷表，設定測試條件表的來歷。