[發明專利]位置檢測方法、位置檢測裝置、圖案繪制裝置和被檢測物

無效

• 申請號: 200710142601.6
• 申請日: 2007-08-15
• 公開（公告）號: CN101178545A
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發明（設計）人: 井上正雄
• 申請（專利權）人: 大日本網目版制造株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐恕

技術領域

本發明涉及一種檢測被配置在規定的配置區域內的被檢測物的位置的技術。

背景技術

在液晶顯示裝置所具備的濾色鏡用基板、液晶顯示裝置或等離子顯示裝置等平板顯示器(FPD)用玻璃基板、半導體襯底、印刷電路板等基板上繪制微細的圖案的圖案繪制裝置等中，為了高精度地進行處理，必須進行將成為處理對象的基板準確地對位于規定的理想位置上的定位(alignment)。因此，至今提出過檢測被裝載在規定的配置區域內的基板的位置的各種技術方案。

例如，用現有的代表技術中，在基板上的規定位置預先標注上定位標記(alignment?mark)，用攝影機拍攝該定位標記周圍而取得圖像。然后根據圖像中的定位標記的像的位置檢測出基板的實際位置與理想位置的偏離量，并根據檢測到的偏離量將基板的位置修正到理想位置，就這樣來進行基板的定位(參照專利文獻1)。

專利文獻1：JP特開2001-267229號公報

可是，為了以高精度進行基板的定位，必須把定位標記的拍攝倍率設定為較高的倍率。但是，若將拍攝倍率設定為高倍率，那么基板上的拍攝范圍變得就非常小，所以有時拍攝范圍之內就不含定位標記。因此，在現有技術中，在將拍攝倍率設定為較高倍率的精細定位之前，進行將拍攝倍率設定為較低倍率的低精度的預定位(用粗標準對位)，由此，在精細定位時拍攝范圍內就包含了定位標記。

但是，若這樣進行預定位和精細定位的2次定位(高倍率和低倍率的二次拍攝)，就要增加對基板的處理時間，降低了生產率，由此，期望著改善對策。

發明內容

鑒于上述問題，本發明目的在于提供通過一種一次拍攝就能夠檢測出被檢測物的位置的技術。

為解決上述問題，技術方案1是一種位置檢測方法，檢測被配置在規定配置區域內的被檢測物的位置，該位置檢測方法包括：拍攝工序，其拍攝所述被檢測物來取得圖像，其中，該被檢測物集中形成了各自能夠指定所述被檢測物上的基準位置與自身的相對位置，即第一位置的多個位置檢測標記；位置導出工序，其根據在所述多個位置檢測標記中作為像而被包含在所述圖像中的一個位置檢測標記的所述圖像中的像，來指定該一個位置檢測標記的所述第一位置，并根據該第一位置導出所述被檢測物的位置的。

技術方案2，如技術方案1所述的位置檢測方法，其中所述位置導出工序具有：第一指定工序，其指定所述一個位置檢測標記的所述第一位置；第二指定工序，其根據所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像的位置，指定所述一個位置檢測標記與拍攝所述圖像的拍攝裝置的相對位置作為第二位置；第三指定工序，其根據所述第一位置和所述第二位置指定所述被檢測物的位置。

技術方案3，如技術方案1或2所述的位置檢測方法，其中所述多個位置檢測標記的每個用配置為二維網格狀的多個點的有無來表示信息；在所述位置導出工序中，根據所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的信息來指定所述第一位置。

技術方案4，如技術方案1至3的任一項所述的位置檢測方法，其中所述多個位置檢測標記的每個為記錄了有關自身的所述第一位置的信息記錄碼；在所述位置導出工序中，通過讀取所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的所述信息記錄碼來指定所述位置檢測標記的所述第一位置。

技術方案5，如據技術方案1至3的任一項所述的位置檢測方法，其中所述多個位置檢測標記的每個表示從其它的位置檢測標記識別自身的識別信息，在所述位置導出工序中，根據表示所述多個位置檢測標記每個的所述識別信息與所述第一位置的對應關系的對應表，和所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的所述識別信息來指定所述一個位置檢測標記的所述第一位置。

技術方案6的發明是根據技術方案2記載的位置檢測方法，其中所述多個位置檢測標記的每個具有規定成為該位置檢測標記內的基準的位置的符號，在所述第二指定工序中，根據所述圖像中的所述符號的像來指定所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像的位置。

技術方案7是一種位置檢測裝置，檢測被配置在規定配置區域內的被檢測物位置，該位置檢測裝置具有：拍攝裝置，其拍攝所述被檢測物而取得圖像，其中，該被檢測物集中形成了分別能夠指定所述被檢測物上的基準位置與自身的相對位置，即第一位置的多個位置檢測標記；位置導出裝置，其根據在所述多個位置檢測標記中作為像而被包含在所述圖像中的一個位置檢測標記的所述圖像中的像，來指定這一位置檢測標記的所述第一位置，并根據該第一位置導出所述被檢測物的位置。