[發明專利]位置檢測方法、位置檢測裝置、圖案繪制裝置和被檢測物

無效

• 申請號: 200710142601.6
• 申請日: 2007-08-15
• 公開（公告）號: CN101178545A
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發明（設計）人: 井上正雄
• 申請（專利權）人: 大日本網目版制造株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐恕

1.一種位置檢測方法，檢測被配置在規定配置區域內的被檢測物的位置，其特征在于，

包括：

拍攝工序，其拍攝所述被檢測物來取得圖像，其中，該被檢測物集中形成了各自能夠指定所述被檢測物上的基準位置與自身的相對位置，即第一位置的多個位置檢測標記；

位置導出工序，其根據在所述多個位置檢測標記中作為像而被包含在所述圖像中的一個位置檢測標記的所述圖像中的像，來指定該一個位置檢測標記的所述第一位置，并根據該第一位置導出所述被檢測物的位置。

2.如權利要求1所述的位置檢測方法，其特征在于，

所述位置導出工序包括：

第一指定工序，其指定所述一個位置檢測標記的所述第一位置；

第二指定工序，其根據所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像的位置，指定所述一個位置檢測標記與拍攝所述圖像的拍攝裝置的相對位置作為第二位置；

第三指定工序，其根據所述第一位置和所述第二位置指定所述被檢測物的位置。

3.如權利要求1所述的位置檢測方法，其特征在于，

所述多個位置檢測標記的每個，用配置為二維網格狀的多個點的有無來表示信息；

在所述位置導出工序中，根據所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的信息來指定所述第一位置。

4.如權利要求1所述的位置檢測方法，其特征在于，

所述多個位置檢測標記的每個為記錄了有關自身的所述第一位置的信息記錄碼；

在所述位置導出工序中，通過讀取所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的所述信息記錄碼來指定所述位置檢測標記的所述第一位置。

5.如權利要求1所述的位置檢測方法，其特征在于，

所述多個位置檢測標記的每個表示從其它的位置檢測標記識別自身的識別信息，

在所述位置導出工序中，根據表示所述多個位置檢測標記每個的所述識別信息與所述第一位置的對應關系的對應表，和所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的所述識別信息來指定所述一個位置檢測標記的所述第一位置。

6.如權利要求2所述的位置檢測方法，其特征在于，

所述多個位置檢測標記的每個具有規定成為該位置檢測標記內的基準的位置的符號，

在所述第二指定工序中，根據所述圖像中的所述符號的像來指定所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像的位置。

7.一種位置檢測裝置，檢測被配置在規定配置區域內的被檢測物位置，其特征在于，

具有：

拍攝裝置，其拍攝所述被檢測物來取得圖像，其中，該被檢測物集中形成了分別能夠指定所述被檢測物上的基準位置與自身的相對位置，即第一位置的多個位置檢測標記；

位置導出裝置，其根據在所述多個位置檢測標記中作為像而被包含在所述圖像中的一個位置檢測標記的所述圖像中的像，來指定這一位置檢測標記的所述第一位置，并根據該第一位置導出所述被檢測物的位置。

8.如權利要求7所述的位置檢測裝置，其特征在于，

所述位置導出裝置具有：

第一指定裝置，其指定所述一個位置檢測標記的所述第一位置；

第二指定裝置，其根據所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像的位置，指定所述一個位置檢測標記與所述拍攝裝置的相對位置來作為第二位置；

第三指定裝置，其根據所述第一位置和所述第二位置來指定所述被檢測物的位置。

9.如權利要求7所述的位置檢測裝置，其特征在于，

所述多個位置檢測標記的每個用配置為二維網格狀的多個點的有無來表示信息，

所述位置導出裝置根據所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的信息來指定所述第一位置。

10.如權利要求7所述的位置檢測裝置，其特征在于，

所述多個位置檢測標記的每個為記錄了有關自身的所述第一位置的信息記錄碼，

所述位置導出裝置利用讀取所述圖像中的所述一個位置檢測標記的像表示的所述信息記錄碼，來指定所述位置檢測標記的所述第一位置。