[發明專利]半導體封裝構造以及制造該半導體封裝構造的方法無效
| 申請號: | 200710139892.3 | 申請日: | 2007-07-26 |
| 公開(公告)號: | CN101090078A | 公開(公告)日: | 2007-12-19 |
| 發明(設計)人: | 陳裕文 | 申請(專利權)人: | 日月光半導體制造股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L25/00;H01L23/488;H01L23/31;H05K1/18;H05K3/34 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人: | 陸嘉 |
| 地址: | 臺灣省高雄市*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 封裝 構造 以及 制造 方法 | ||
技術領域
本發明是有關于一種半導體封裝構造及其制造方法,更特別有關于具有表面黏著組件的半導體封裝構造及其制造方法。
背景技術
一般來說,半導體封裝構造包含基板以及設在基板上的電子組件。參考圖1,習知的半導體封裝構100包含一基板110,基板110的上表面112設有一芯片120以及數個表面黏著組件130,例如電容,表面黏著組件130則藉由設在基板上表面112的焊墊140與基板110電性連接。
上述的表面黏著組件130一般是藉由回焊(reflow)制程使表面黏著組件130的兩端藉由焊錫160黏著于焊墊140上,達到與基板110電性連接的目的。在進行上述回焊制程之前,基板上表面112已事先涂布一層防焊層(solder?mask)(圖未示),以防止回焊時焊錫覆蓋基板110上的其它線路造成短路;另外,防焊層則不可覆蓋于焊墊140上,以使焊錫160能讓表面黏著組件130黏著于焊墊140上。
參考圖2,為保護基板110上的組件,常于基板上表面112注入封膠150,以將芯片120以及表面黏著組件130覆蓋。然而,表面黏著組件130黏著于焊墊140上后,其底部并非緊貼于基板110上,而是離開基板110一小段距離,造成一個小空隙132,但由于此空隙132極小,封膠150不易流入填滿其中。當上述覆蓋有封膠150的基板110經過其它后續的熱制程時,例如于基板110的下表面植球(ball?mount),以使封裝構造100能與外界裝置電性連接時,將表面黏著組件130黏著于焊墊140上的焊錫160有可能再度融化,產生流動。此時,若黏著于表面黏著組件130兩端的焊錫160因融化而流入組件130下方的空隙132內時,將有可能融接在一起,因此產生橋接的情形;或者是黏著于表面黏著組件130一端的焊錫160融化,造成表面黏著組件130的一端翹起,產生碑立的情形。
上述情況,會造成封裝構造100的失效,或者是對封裝構造100的可靠度產生影響。
有鑒于此,便有須提出一種制造半導體封裝構造的方法,以解決上述問題。
發明內容
本發明的目的在于提供一種制造半導體封裝構造的方法,可避免發生橋接以及表面黏著組件碑立的情形。
于一實施例中,本發明的制造半導體封裝構造的方法包含:提供一基板,并于基板的上表面開設至少一個槽孔;接著將一芯片設置于基板的上表面,并將至少一個表面黏著組件設置覆于槽孔的上方,同時并使表面黏著組件與基板電性連接;再來將一環形體設置于基板的上表面,并圍繞芯片與表面黏著組件;隨后將封膠注入環形體于基板上表面所圍繞的空間內,以包覆表面黏著組件。
上述的制造半導體封裝構造的方法,由于表面黏著組件的下方具有槽孔,于注膠過程中封膠會流入槽孔內并將表面黏著組件下方的空間填滿,避免孔洞的產生。如此,可防止當黏著表面黏著組件的焊錫因受熱再度融化時,產生橋接以及表面黏著組件碑立的情形。再者,環形體于注膠的過程中可充當擋墻,防止封膠流入其它區域,更可使封膠容易完全覆蓋表面黏著組件以及填滿芯片。
附圖說明
為了讓本發明的上述和其它目的、特征、和優點能更明顯,下文特舉本發明實施例,并配合所附圖示,作詳細說明如下:
圖1:為一種未包含封膠的習知半導體封裝構造的剖面圖。
圖2:為圖1的半導體封裝構造的剖面圖,包含有封膠覆蓋表面黏著組件。
圖3a至圖3f:為本發明的制造半導體封裝構造的方法,其中圖3c為一俯視圖,圖3f顯示制造完成的半導體封裝構造。
圖號說明
100半導體封裝構造?110基板
112上表面?????????114下表面
120芯片???????????130表面黏著組件
132空隙???????????140焊墊140
150封膠???????????160焊錫
300半導體封裝構造?310基板
312上表面?????????316槽孔
320芯片???????????330表面黏著組件
350封膠???????????360焊錫
370環形體?????????380空間
390散熱片?????????L1長度
L2長度????????????W1寬度
W2寬度
具體實施方式
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





