[發明專利]光刻中的旁瓣圖像搜尋方法無效
| 申請號： | 200710139717.4 | 申請日： | 2007-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN101211123A | 公開（公告）日： | 2008-07-02 |
| 發明（設計）人： | 吳宗顯 | 申請（專利權）人： | 旺宏電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 任默聞 |
| 地址： | 臺灣省新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 中的 圖像 搜尋 方法 | ||
1.一種用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，所述全芯片布局具有主要圖案，所述用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法包含：
(a)以多邊形圖案來圍繞所述主要圖案；以及
(b)執行光刻規則檢驗，所述光刻規則檢驗包括使用所述多邊形圖案來為旁瓣搜尋所述主要圖案。
2.如權利要求1所述的用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，其特征在于所述多邊形為八邊形。
3.如權利要求1所述的用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，其特征在于所述多邊形為十六邊形。
4.如權利要求1所述的用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，其特征在于所述多邊形為三十二邊形。
5.如權利要求1所述的用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，還包含：
(c)以誤差旗標來標記所述旁瓣的位置。
6.一種用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，所述全芯片布局具有主要圖案，所述用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法包含：
(a)以圓形來圍繞所述主要圖案；以及
(b)執行光刻規則檢驗，所述光刻規則檢驗包括使用所述圓形來為旁瓣搜尋所述主要圖案。
7.如權利要求6所述的用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，還包含：
(c)以誤差旗標來標記所述旁瓣的位置。
8.一種用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，所述全芯片布局具有主要圖案，所述用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法包含：
(a)以環形圖案來圍繞所述主要圖案；以及
(b)執行光刻規則檢驗，所述光刻規則檢驗包括使用所述環形圖案來為旁瓣搜尋所述主要圖案。
9.如權利要求8所述的用于檢測全芯片布局中的旁瓣的方法，還包含：
(c)以誤差旗標來標記所述旁瓣的位置。
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