[發明專利]用于制造平板顯示器的設備

有效

• 申請號: 200710138189.0
• 申請日: 2005-09-30
• 公開（公告）號: CN101101862A
• 公開（公告）日: 2008-01-09
• 發明（設計）人: 李榮鐘;崔浚泳;曺生賢;安賢煥;孫石民;安成一
• 申請（專利權）人: 愛德牌工程有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/67;G02F1/1333;H01J9/00;G09F9/00;B01J3/00;B01J3/03
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 蔡洪貴

1.一種FPD制造設備，用于對在真空氣氛下加載入所述室中的基板執行所需的處理，其中：

所述室包括：下室；以及上室，其設置在所述下室上以遠離所述下室打開或者關閉到所述下室，所述下和上室的耦合表面在所述上室的移動方向上向下傾斜；

并且還包括：

水平驅動單元對，用于以水平可移動的方式支持所述上室；以及旋轉單元對，用于可旋轉地支持所述上室。

2.如權利要求1所述的設備，其中所述下和上室耦合表面的至少一個形成有密封元件設置凹陷，并且密封元件被插入在所述下和上室之間。

3.如權利要求2所述的設備，其中密封元件驅動單元被進一步提供在密封元件設置凹陷中以垂直地移動所述密封元件。

4.如權利要求3所述的設備，其中所述密封元件驅動單元被定位在所述密封元件設置凹陷的下部區域中，使得其與所述密封元件的底表面接觸以氣壓地驅動所述密封元件。

5.如權利要求2所述的設備，其中所述密封元件具有空氣通道使得空氣被注入所述空氣通道以氣壓地擴張或者回縮所述密封元件。