[發明專利]潔凈儲料機和物品的保管方法有效
| 申請號： | 200710138187.1 | 申請日： | 2007-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN101118375A | 公開（公告）日： | 2008-02-06 |
| 發明（設計）人： | 山本真 | 申請（專利權）人： | 村田機械株式會社 |
| 主分類號： | G03F1/00 | 分類號： | G03F1/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 徐殿軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 潔凈 儲料機 物品 保管 方法 | ||
1.一種潔凈儲料機，將物品收納在容器中并從出入庫口進行出入庫，并且在潔凈儲料機內可使潔凈氣體向下吹氣，其特征在于，
設置用于將物品對于容器進行取出裝入的開閉裝置，
將從容器取出的物品的保管架設置在上側、容器的保管架設置在下側、并上下配置為在俯視時重疊，
還設置有：用于在上述開閉裝置和出入庫口及容器的保管架之間運送容器的容器運送裝置；以及
用于在上述開閉裝置和物品的保管架之間運送物品的物品運送裝置；
上述物品的保管架和容器的保管架為，各自相互獨立地自由水平旋轉的旋轉式架；
在上述物品的保管架和容器的保管架的一側，上述物品運送裝置和容器運送裝置隔著上述開閉裝置地相對配置。
2.如權利要求1所述的潔凈儲料機，其特征在于，
在上述容器運送裝置可運送容器的位置上，設置獨立于上述容器保管架的、用于收納容器的固定架。
3.一種物品的保管方法，將物品收納在容器中并從出入庫口進行出入庫，并且可使潔凈氣體向下吹氣來對物品進行潔凈地保管，其特征在于，
通過開閉裝置將物品對于從出入庫口進行出入庫的容器進行取出裝入，
將容器的保管架設置在下側、物品的保管架設置在上側、并上下配置為在俯視時重疊，并以從物品的保管架側向容器的保管架側的順序供給潔凈氣體，
設置用于運送容器的容器運送裝置、和用于運送物品的物品運送裝置，在開閉裝置和出入庫口及容器保管架之間通過容器運送裝置運送容器，并且在物品的保管架和開閉裝置之間通過物品運送裝置運送物品；
上述物品的保管架和容器的保管架為，各自相互獨立地自由水平旋轉的旋轉式架；
在上述物品的保管架和容器的保管架的一側，上述物品運送裝置和容器運送裝置隔著上述開閉裝置地相對配置。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如通過電子束；其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜；其制備，例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜，例如用于校準或測試的特殊涂層或標記；其制備
