[發(fā)明專利]潔凈儲料機和物品的保管方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710138187.1
• 申請日: 2007-07-31
• 公開（公告）號: CN101118375A
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發(fā)明（設計）人: 山本真
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: G03F1/00
• 分類號: G03F1/00;H01L21/677
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 徐殿軍

技術領域

本發(fā)明涉及將半導體曝光用的標線片(reticule)等物品潔凈地保管的潔凈儲料機、及在其中的保管方法。

背景技術

在半導體等的曝光中使用標線片，標線片被收納在晶圓盒(ポツト)中地被運送于儲料機和曝光裝置之間。關于標線片的保管，專利文獻1公開有以下內容：將保管裸露的標線片的架和保管晶圓盒的架設置在運送裝置的行駛路徑的兩側。但是，若如此則可能會因運送裝置的行駛氣流而污染標線片。

專利文獻1：日本專利3682170號

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的為，將多個物品和其容器緊湊且潔凈地進行保管。

在方案2、3的發(fā)明中追加的目的為，將多個物品和其容器進一步緊湊地進行保管。

在方案4的發(fā)明中追加的目的為，可使收納有物品的容器有效率地出入庫。

本發(fā)明的其他目的為，提供一種將多個物品和其容器緊湊且潔凈地進行保管并出入庫的方法。

本發(fā)明的特征為，在將物品收納在容器中并從出入庫口進行出入庫，并且在潔凈儲料機內可使?jié)崈魵怏w向下吹氣的潔凈儲料機中，設置用于將物品相對于容器進行取出裝入的開閉裝置，并且將從容器取出的物品的保管架設置在上側、容器的保管架設置在下側、并上下配置為在俯視時重疊，還設置有：用于在上述開閉裝置和出入庫口及容器的保管架之間運送容器的容器運送裝置；和用于在上述開閉裝置和?物品的保管架之間運送物品的物品運送裝置；

上述物品的保管架和容器的保管架為，各自相互獨立地自由水平旋轉的旋轉式的架；

在上述物品的保管架和容器的保管架的一側，上述物品運送裝置和容器運送裝置隔著上述開閉裝置地相對配置。

還優(yōu)選，在上述容器運送裝置可運送容器的位置上，設置獨立于上述容器保管架的、用于收納容器的固定的架。

并且，本發(fā)明的特征為，在將物品收納在容器中并從出入庫口進行出入庫，并且可使?jié)崈魵怏w向下吹氣來對物品進行潔凈保管的方法中，通過開閉裝置將物品相對于從出入庫口進行出入庫的容器進行取出裝入，并且將容器的保管架設置在下側、物品的保管架設置在上側、并將其上下配置為在俯視時重疊，并以從物品的保管架側向容器的保管架側的順序供給潔凈氣體，并且設置用于運送容器的容器運送裝置、和用于運送物品的物品運送裝置，在開閉裝置和出入庫口及容器的保管架之間通過容器運送裝置運送容器，并且在物品的保管架和開閉裝置之間通過物品運送裝置運送物品；上述物品的保管架和容器的保管架為，各自相互獨立地自由水平旋轉的旋轉式架；在上述物品的保管架和容器的保管架的一側，上述物品運送裝置和容器運送裝置隔著上述開閉裝置地相對配置。

在本說明書中，關于潔凈儲料機的記載只要沒有特別說明，也適用于使用潔凈儲料機的物品的保管方法，并且關于物品的保管方法的記載只要沒有特別說明，也適用于潔凈儲料機。并且，在實施例中以保管半導體曝光用的標線片和收納該標線片的晶圓盒為例，但是保管物品的種類和收納物品的容器的種類本身是任意的。

在本發(fā)明中，將物品的保管架配置在上側、容器的保管架配置在下側，并供給潔凈氣體的下沉氣流，因此能夠將從容器中取出的物品潔凈地保管在保管架中。并且，由于是將物品從容器取出而進行保管，因此可將多個物品緊湊地保管。進行保管的物品的數(shù)量與容器的數(shù)量不必相等，例如當使容器的數(shù)量比物品的數(shù)量少，并只保管物品的出入庫所需的數(shù)量的容器時，可進一步緊湊地收納多個物品。

此處，當使物品的保管架和容器的保管架通過各自相互獨立地自由水平旋轉的旋轉式的架(以下，稱為旋轉架)構成時，使容器運送裝置和物品運送裝置在旋轉架的規(guī)定的位置上，將容器和物品從架取出裝入即可。因此，可縮小這些運送裝置的動作范圍，結果，可進一步緊湊地保管多個物品和容器。并且，在旋轉架上，在架的中心部留有空間，可將該部分用作潔凈氣體的排氣路。

這里，當在物品的保管架和容器的保管架的一側、將物品運送裝置和容器運送裝置隔著開閉裝置地相對配置時，可將這些運送裝置進一步緊湊地配置。特別是，當這些運送裝置由運送裝置主體和其升降機構構成時，使容器和物品的旋轉架分別為上下多層，并且即使開閉裝置與這些架的高度水平不同，也可容易地運送容器和物品。

這里，當設置獨立于容器的旋轉架的、用于收納容器的固定的架，并預先保管收納有預定出庫的物品的容器時，可在短時間內有效率地進行出庫。并且，在連續(xù)進行入庫的情況下，在將容器安置到開閉裝置上之前可暫時保管在固定的架上。因此，可有效率地進行出入庫。

附圖說明

圖1是實施例的潔凈儲料機的正視圖。