[發(fā)明專利]用于脆性基板的傳送設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710136364.2
• 申請日: 2007-07-24
• 公開（公告）號: CN101100243A
• 公開（公告）日: 2008-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金鐘相;樸成模
• 申請（專利權(quán)）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;G02F1/1333
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

相關(guān)申請交叉參考

本發(fā)明要求于2006年8月24日提交的第2006-0080626號韓國專利申請的權(quán)益，其公開內(nèi)容整體結(jié)合于此作為參考。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于脆性基板的傳送設(shè)備，更具體地說，涉及這樣一種用于脆性基板的傳送設(shè)備，當(dāng)在用于脆性基板的切割裝置中使用傳送帶傳送基板時(shí)，該傳送設(shè)備能夠防止傳送帶下部的污染。

背景技術(shù)

隨著信息通信領(lǐng)域的快速發(fā)展，用于顯示期望信息的顯示裝置的重要性日益增加。到目前為止，在信息顯示裝置的范圍內(nèi)，陰極射線管(CRT)由于自然色彩再現(xiàn)的多樣性及屏幕的高亮度而獲得了廣泛應(yīng)用。

然而，對大型、便攜式以及高分辨率顯示器的需求使得平板顯示器取代陰極射線管而獲得發(fā)展。

這種平板顯示器廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，諸如，計(jì)算機(jī)監(jiān)視器、飛行器、太空船等等。平板顯示器一般分為薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)、有機(jī)發(fā)光顯示器(OLED)、等離子體顯示面板(PDP)等等。

平板顯示器通常通過在脆性基板上形成多個(gè)器件、且將基板切割成相應(yīng)的器件單元、以及將這些器件從基板上分離來制造。

通常，切割脆性基板(諸如，玻璃、硅、或陶瓷基板)的方法分成兩種，即，利用具有20-200μm厚度的快速旋轉(zhuǎn)金剛石刀片切割基板以在基板中形成切割槽的切塊(dicing)方法、以及利用由具有0.6-2mm厚度的金剛石尖端形成的劃線輪形成切割槽以沿厚度方向形成裂縫的劃線方法。

在液晶顯示器(LCD)的情況下，在大的脆性基板(稱為母板)上同時(shí)形成至少兩個(gè)LCD單位單元(unit?cell)。在單個(gè)母板上形成所述至少兩個(gè)LCD單位單元之后，通過單個(gè)化工序?qū)CD單位單元從母板上分離。

在單個(gè)化工序中，在液晶顯示器中使用母板的情況下，脆性基板由于其基板特性而具有高脆性。在切割工序期間形成于脆性基板邊緣的細(xì)小裂紋沿著薄弱點(diǎn)快速擴(kuò)展，以切除不期望的部分，因此從切割表面上產(chǎn)生許多顆粒。

即，單個(gè)化工序包括：在母板中形成預(yù)定深度的劃線；以及向母板施加物理沖擊，以參照脆性基板的切割線利用集中在劃線內(nèi)的預(yù)應(yīng)力而將LCD單位單元從母板上分離。

以下，將參照圖1描述具有傳送帶的用于切割基板的傳統(tǒng)設(shè)備。

如圖1所示，具有傳送帶的用于切割基板的設(shè)備包括：第一和第二帶式傳送裝置70和80，它們以預(yù)定間隔設(shè)置，且母板60放置于其上并在其上移動(dòng)以待切割；伺服電機(jī)90，安裝在第一和第二帶式傳送裝置70和80的一端，以驅(qū)動(dòng)第一和第二帶式傳送裝置70和80；以及劃線裝置100，設(shè)置于第一和第二帶式傳送裝置70和80之間，以劃下基板60的預(yù)切割線。

此處，第一和第二帶式傳送裝置70和80包括：多個(gè)傳送裝置支撐梁(beam)，沿Y方向以預(yù)定間隔設(shè)置在帶式傳送裝置70和80的下方；以及多個(gè)梁支撐桿架72和82，沿X方向設(shè)置，以支撐傳送裝置支撐梁。

此外，劃線裝置100包括：劃線頭部101；導(dǎo)向桿，其上安裝有劃線頭部101；支撐桿，用于支撐導(dǎo)向桿的兩側(cè)；以及導(dǎo)軌，彼此平行設(shè)置，以移動(dòng)支撐桿。

在用于切割基板的傳統(tǒng)設(shè)備中，當(dāng)?shù)谝粠絺魉脱b置70由伺服電機(jī)90驅(qū)動(dòng)時(shí)，安裝在第一帶式傳送裝置70上的基板60沿一個(gè)方向移動(dòng)。

接著，當(dāng)所移動(dòng)基板60的預(yù)切割線設(shè)置在第一帶式傳送裝置70與第二帶式傳送裝置80之間的一位置(基板60的一端安裝在第一帶式傳送裝置70上，而基板60的另一端安裝在第二帶式傳送裝置80上)時(shí)，操縱劃線頭部101，使之沿與基板60的移動(dòng)方向相垂直的方向移動(dòng)，以在基板60的預(yù)切割線上執(zhí)行劃線工序。

當(dāng)已劃線基板60從第一帶式傳送裝置70移動(dòng)到第二帶式傳送裝置80上時(shí)，在第一帶式傳送裝置70上安裝新的基板，以在一定時(shí)間之后經(jīng)歷劃線工序。

參照圖2，將描述在用于切割基板的設(shè)備中使用的帶式傳送裝置的結(jié)構(gòu)。

圖2是用于帶式傳送裝置中的帶式傳送機(jī)構(gòu)的截面圖，其中圖2(a)是帶式機(jī)構(gòu)的截面圖，而圖2(b)示出了帶式機(jī)構(gòu)的操作。

圖2中，參考標(biāo)號10表示由橡膠形成的帶，參考標(biāo)號11表示用于支撐帶10的帶支撐部，參考標(biāo)號12表示用于保護(hù)帶支撐部的帶支撐部蓋，以及參考標(biāo)號13表示用于沿某一方向轉(zhuǎn)動(dòng)帶10的一對輥。

在圖2所示的帶式機(jī)構(gòu)中，通過驅(qū)動(dòng)裝置(諸如圖1所示的伺服電機(jī))來旋轉(zhuǎn)輥13，以轉(zhuǎn)動(dòng)圍繞輥13安裝的帶10，從而傳送放置于帶10上的脆性基板。