[發明專利]用于脆性基板的傳送設備

有效

• 申請號: 200710136364.2
• 申請日: 2007-07-24
• 公開（公告）號: CN101100243A
• 公開（公告）日: 2008-01-09
• 發明（設計）人: 金鐘相;樸成模
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;G02F1/1333
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

1.一種用于脆性基板的傳送設備，包括：

傳送裝置，用于傳送待切割的脆性基板；以及

電機部，用于驅動所述傳送裝置，

其中，所述傳送裝置包括沿環形路徑行進以傳送所述脆性基板的帶部、用于支撐所述帶部的帶支撐部、以及用于抽吸所述帶部下方的污染物的抽吸裝置。

2.根據權利要求1所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，所述傳送裝置進一步包括設置在所述帶部與所述帶支撐部之間的且覆蓋所述帶支撐部的帶支撐部蓋。

3.根據權利要求2所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，所述抽吸裝置包括：抽吸部，用于抽吸所述帶部下方的污染物；真空泵，用于執行所述抽吸部的污染物抽吸；以及抽吸管，用于將所述抽吸部連接至所述真空泵。

4.根據權利要求3所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，所述抽吸部設置在所述帶部與所述帶支撐部之間。

5.根據權利要求4所述的用于脆性基板的傳送設備，進一步包括第一輥和第二輥，所述第一輥和第二輥上安裝有所述帶部，

其中，所述抽吸部設置在由所述第一輥轉動的所述帶部的下方以及進入所述第二輥之前的所述帶部的下方，以去除由所述第一輥與所述帶部之間的摩擦而產生的顆粒以及由所述帶部和所述帶支撐部蓋所產生的顆粒。

6.根據權利要求5所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，所述抽吸部具有與所述帶部的帶相同的寬度。

7.根據權利要求6所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，當所述第一輥和所述第二輥轉動時，所述抽吸裝置運行。

8.根據權利要求6所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，當所述第一輥和所述第二輥轉動時，所述抽吸裝置以預定時間間隔運行。

9.根據權利要求5至8中任一項所述的用于脆性基板的傳送設備，進一步包括安裝在所述抽吸裝置中的刷。

10.根據權利要求9所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，所述刷包括：第一刷，安裝在鄰近于所述第一輥的所述抽吸部中，且附著于所述帶支撐部蓋；以及第二刷，安裝在鄰近于所述第二輥的所述抽吸部中，且附著于所述帶支撐部。

11.根據權利要求3所述的用于脆性基板的傳送設備，進一步包括第一輥和第二輥，所述第一輥和第二輥上安裝有所述帶部，

其中，所述抽吸部設置在已經過所述第二輥的帶的上方，以去除在所述第二輥周圍產生的污染物。

12.根據權利要求3所述的用于脆性基板的傳送設備，進一步包括第一輥和第二輥，所述第一輥和第二輥上安裝有所述帶部，

其中，所述抽吸部設置在由所述第一輥轉動的所述帶部的下方以及已經過所述第二輥的帶的上方。

13.根據權利要求11或12所述的用于脆性基板的傳送設備，進一步包括安裝在所述抽吸部中的刷。

14.根據權利要求13所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，所述抽吸部具有與所述帶部的所述帶相同的寬度。

15.根據權利要求14所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，當所述第一輥和所述第二輥轉動時，所述抽吸裝置運行。

16.根據權利要求14所述的用于脆性基板的傳送設備，其中，當所述第一輥和所述第二輥轉動時，所述抽吸裝置以預定時間間隔運行轉。