[發明專利]硅料清洗裝置中的酸洗槽

無效

• 申請號: 200710132079.3
• 申請日: 2007-09-10
• 公開（公告）號: CN101121169A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 陳宏
• 申請（專利權）人: 張家港市超聲電氣有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/12
• 代理公司: 張家港市高松專利事務所
• 代理人: 孫高

技術領域

本發明涉及一種超聲波清洗裝置，尤其涉及一種硅料清洗裝置中的酸洗槽結構。

背景技術

硅料是半導體信息電子行業、太陽能發電行業最基本的關鍵材料，硅料的純度和它的利用價值關系極為密切，而清洗又是提高硅料純度的有效途徑。在硅料的清洗過程中我們發現：當硅料表面存在有酸性溶液時，在與空氣接觸的情況下，硅料表面極易生成氧化層，若硅料表面沒有酸性溶液存在，硅料與空氣接觸生成氧化層的速度很慢。目前，在采用超聲波清洗設備清洗硅料時，為防止硅料在清洗過程中發生氧化，其主要辦法就是縮短硅料在空氣中的停留時間，即盡量快速地將硅料從上一工序的溶液中轉移到下一工序的另一種溶液中，從而達到防止氧化的目的，但這種方法尚不能徹底解決硅料表面的氧化現象，另外，這種硅料的轉移裝置結構也較復雜，制造成本較高。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硅料在清洗過程中可避免與空氣中的氧氣接觸，從而可防止硅料二次氧化的硅料清洗裝置中的酸洗槽。

為實現本發明的目的，一種硅料清洗裝置中的酸洗槽，包括用于放置液體和工件的槽體，所述的槽體上口部設置有惰性氣體的風刀，風刀的寬度不小于槽體的是上口部，槽體的底部通過管道和閥門分別與酸溶液儲液槽、漂洗溶液儲液槽相連通；

所述的惰性氣體風刀對稱設置在槽體的兩側面；

所述的槽體底部設置有一出液管道，該出液管道通過三通后分支成兩管道分別與酸溶液儲液槽、漂洗溶液儲液槽相連通，與酸溶液儲液槽、漂洗溶液儲液槽相連通的兩分支管道上分別設置有控制閥門。

本發明的有益效果是：消除了硅料在酸性溶液中清洗后出現的硅料表面二次氧化的難題，對提高硅料純度有著明顯的效果。

附圖說明

圖1為本發明硅料清洗裝置中的酸洗槽結構示意圖。

圖中：1、槽體，2、風刀，3、管道，4、閥門，5、酸溶液儲液槽，6、、漂洗溶液儲液槽。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明硅料清洗裝置中的酸洗槽作進一步說明：

如圖1所示，一種硅料清洗裝置中的酸洗槽，包括用于放置液體和工件的槽體1，槽體1上口部設置有惰性氣體的風刀2，風刀2的寬度不小于槽體1的是上口部，槽體1底部設置有一出液管道3，該出液管道3通過三通后分支成兩管道3分別與酸溶液儲液槽5、漂洗溶液儲液槽6相連通，與酸溶液儲液槽5、漂洗溶液儲液槽6相連通的兩分支管道3上分別設置有控制閥門4，上述的惰性氣體風刀2通常對稱設置在槽體1的兩側。

該設備的關鍵之處是：硅料經酸洗后，進入漂洗之前，在這一自動流轉過程中用氮氣將表面存有酸性溶液的硅料與空氣隔絕，防止硅料氧化。

該設備的具體結構是：在普通超聲波清洗自動線的基礎上，對酸洗槽進行結構性優化設計。在酸洗槽上裝有液位開關和氮氣風刀，硅料經酸洗后酸溶液自動快速的排放進儲酸槽，同時打開氮氣風刀，使空氣無法與槽內清洗的硅料接觸，當快速排完酸性溶液后，立即向酸槽內快速注入漂洗水溶液，待漂洗水溶液呈中性后，說明硅料表面的酸溶液已洗凈，關閉氮氣風刀，進入下一道工藝流程。