[發明專利]硅料清洗裝置中的酸洗槽無效
| 申請號： | 200710132079.3 | 申請日： | 2007-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN101121169A | 公開（公告）日： | 2008-02-13 |
| 發明（設計）人： | 陳宏 | 申請（專利權）人： | 張家港市超聲電氣有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/10 | 分類號： | B08B3/10;B08B3/12 |
| 代理公司： | 張家港市高松專利事務所 | 代理人： | 孫高 |
| 地址： | 215618江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 裝置 中的 酸洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅料清洗裝置中的酸洗槽，包括用于放置液體和工件的槽體(1)，其特征在于：所述的槽體(1)上口部設置有惰性氣體的風刀(2)，風刀(2)的寬度不小于槽體(1)的是上口部，槽體(1)的底部通過管道(3)和閥門(4)分別與酸溶液儲液槽(5)、漂洗溶液儲液槽(6)相連通。
2.根據權利要求1所述的一種硅料清洗裝置中的酸洗槽，其特征在于：所述的惰性氣體風刀(2)對稱設置在槽體(1)的兩側面。
3.根據權利要求1所述的一種硅料清洗裝置中的酸洗槽，其特征在于：所述的槽體(1)底部設置有一出液管道(3)，該出液管道(3)通過三通后分支成兩管道(3)分別與酸溶液儲液槽(5)、漂洗溶液儲液槽(6)相連通，與酸溶液儲液槽(5)、漂洗溶液儲液槽(6)相連通的兩分支管道(3)上分別設置有控制閥門(4)。
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