[發明專利]藥液供給方法

有效

• 申請號: 200710129601.2
• 申請日: 2007-07-23
• 公開（公告）號: CN101121161A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 升芳明;富取誠
• 申請（專利權）人: 東京應化工業株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 雒運樸;李偉

技術領域

本發明涉及一種向玻璃基板等被處理基板的表面供給用于形成被膜等的涂敷液等藥液的方法。

背景技術

使用狹縫噴頭等，在被處理基板的表面形成均勻厚度的被膜時，需要在一定時間范圍內向被處理基板的表面供給一定量的涂敷液，作為此種技術，已知有專利文獻1、2。

在專利文獻1中，公開了使用注射泵(syringe?pump)的涂敷裝置，并提出了一種先測定被涂敷的涂敷劑的流量或重量，再把該測定值利用到下次涂敷液的涂敷條件的修正中的技術。

驅動注射泵(定量泵)而完成第一次噴涂(涂敷)后，到進行下次噴涂之間，如果注射泵的涂敷液儲存空間內為負壓的話，就會把空氣從外部卷入。因此，專利文獻1中，使涂敷液儲存空間內的涂敷液壓帶有剩余壓力(正壓)，但是這種剩余壓力在進行連續噴涂時，每次噴涂時都不相同，其結果，無法在每次噴涂時均噴出一定量的涂敷液。

為解決上述專利文獻1中的問題，在專利文獻2中，提出了在與涂敷液儲存空間相連接的排氣管上設置開關閥，并且在涂敷前暫時開啟此開關閥，把涂敷液儲存空間內的剩余壓力，通過排氣罐而開放的方案。

專利文獻1：日本專利特開2001-121062號公報

專利文獻2：日本專利特開2006-43584號公報

就專利文獻2所公開的方法而言，每一次噴涂時能夠噴出一定量的涂敷液。然而，在通過排氣罐開放剩余壓力時，會導致大量的涂敷液也同剩余壓力一起被排出。舉個例子，使用狹縫噴頭對玻璃基板每次噴出2cc的涂敷液時，大約有2cc的涂敷液會同剩余壓力一起被排出。

由此可知，使用狹縫噴頭的涂敷方法，雖然與以往的離心法相比可以大幅度減少所用涂敷液(藥液)的量，但是，如果考慮到同剩余壓力一起被損失掉的涂敷液的話，則不能說是有效利用，這是個應急需改善的課題。

發明內容

為了解決上述課題，本發明涉及的藥液供給方法，是一種把儲存罐內的藥液，通過藥液供給管，輸送到泵的藥液儲存空間，并通過驅動泵使上述藥液儲存空間的體積減少，而從設置于上述藥液儲存空間的下游側的噴頭中噴出藥液的方法，其中，在上述藥液供給管上設置有開關閥，在該開關閥下游側的藥液供給管上連接有排氣管，在該排氣管上設置有開關閥，在藥液向上述泵的藥液儲存空間的填充完成前，暫時停止填充，接著關閉上述藥液供給管的開關閥，其后，再次進行藥液向上述泵的藥液儲存空間的填充，填充后打開設置于上述排氣管的開關閥，從而排出藥液儲存空間的剩余壓力。

在關閉藥液供給管的開關閥的狀態、即藥液儲存空間成為密閉空間的狀態下，當向填充方向驅動泵時，藥液儲存空間的容積會變大，使泵的內壓達到例如10KPa以下。

以往，為了不使注射泵的藥液儲存空間內變為負壓，直到該藥液儲存空間內被藥液完全填充為止，需維持藥液儲存空間內的正壓，因此一旦打開排氣管的閥門，就會有大量藥液同剩余壓力一起被排出來，但是就本發明而言，在藥液完全被填充到藥液儲存空間內之前，暫時停止填充，同時關閉上述藥液供給管的開關閥，其后，再次進行藥液向上述泵的藥液儲存空間的填充，而降低泵內壓力，填充后，打開設置于上述排氣管的開關閥而排出藥液儲存空間的剩余壓力，因此，由剩余壓力排出的充滿藥液儲存空間內的量的藥液量減少，能夠有效地涂敷藥液。

具體而言，由于排出剩余壓力而被排出的藥液量，減少至2cc～0.5cc。

附圖說明

圖1為實施本發明的藥液供給方法的裝置的構成圖。

圖2為定量泵及各開關閥的時間圖。

符號說明：

1...液儲存罐；2...上升管；3，11，14，17，21...開關閥；

4...涂敷液供給管；5...排氣部分；6...排氣罐；

7...過濾器；8...除氣模塊；9...定量泵(注射泵)；

10...涂敷液供給管；12...狹縫噴頭；13...涂敷液供給管；

15...排氣管；16...壓力管路；18...止回閥；

19...排氣罐；20...返回管；S...涂敷液儲存空間。

具體實施方式

以下根據附圖對用于實施本發明的實施方式進行說明。圖1為實施本發明涉及的藥液供給方法的裝置的構成圖。圖2為注射泵及各閥門的時間圖。在本實施例中，作為藥液，以形成保護膜或S0G膜的涂敷液為例來說明。