[發明專利]藥液供給方法有效
| 申請號: | 200710129601.2 | 申請日: | 2007-07-23 |
| 公開(公告)號: | CN101121161A | 公開(公告)日: | 2008-02-13 |
| 發明(設計)人: | 升芳明;富取誠 | 申請(專利權)人: | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號: | B05C5/02 | 分類號: | B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人: | 雒運樸;李偉 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藥液 供給 方法 | ||
1.一種藥液供給方法,把儲存罐內的藥液,通過藥液供給管,輸送到泵的藥液儲存空間,并通過驅動泵,使上述藥液儲存空間的體積減少,從而將藥液從設置于上述藥液儲存空間的下游側的噴頭中噴出,其特征在于,在上述藥液供給管上設置有開關閥,在該開關閥下游側的藥液供給管上連接有排氣管,在該排氣管上設置有開關閥,在藥液向上述泵的藥液儲存空間的填充完成前,暫時停止填充,而關閉上述藥液供給管的開關閥,其后,再次進行藥液向上述泵的藥液儲存空間的填充,填充后打開設置于上述排氣管的開關閥,從而排出藥液儲存空間的剩余壓力。
2.根據權利要求書1所述的藥液供給方法,其特征在于,通過暫時停止藥液向上述藥液儲存空間的填充,其后在關閉藥液供給管的開關閥的狀態下再次開始填充,而使泵的內壓為20kPa以下。
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